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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0092688 (2015-06-30) | |
등록번호 | 10-1686123-0000 (2016-12-07) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150092688 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-06-30) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 마이크로 히터 및 마이크로 센서에 관한 것으로써, 특히, 히터전극 상에는 보호층이 형성되어, 상기 히터전극이 산화되는 것을 방지하고 상기 히터전극을 보호할 수 있는 마이크로 히터 및 마이크로 센서에 관한 것이다.
기판;상기 기판 상에 형성되는 히터전극을 포함하며,상기 히터전극 상에는 보호층이 형성되며,상기 히터전극을 지지하는 부분을 제외한 영역에서, 상기 기판의 상면에서 하면까지 모두 제거되어 형성되는 에어갭이 구비되어 단열성이 향상되는 것을 특징으로 하는 마이크로 히터.
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