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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0093334 (2015-06-30) | |
공개번호 | 10-2017-0003110 (2017-01-09) | |
등록번호 | 10-1779488-0000 (2017-09-12) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150093334 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-06-30) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 액체 CO2를 단열 팽창시켜 승화성 드라이아이스 입자들을 생성하고 이 드라이아이스 입자들을, 고속의 캐리어 가스에 실어서 세정 대상물의 표면에 분사하여 세정 대상물 표면을 세정하는 건식 세정기술에 관한 것으로, 액체 CO2를 단열 팽창시켜 승화성 드라이아이스 입자들을 생성하고 이 드라이아이스 입자들을 고속의 캐리어 가스에 실어서 세정 대상물의 표면에 분사하여 세정 대상물 표면을 세정하는 건식 세정기술에 있어서, 액체 이산화탄소 노즐의 끝단이 캐리어 가스 노즐의 끝단보다 상대적으로 외부로 더 돌출되어 캐리어 가스 노즐에 드
내부에 캐리어 가스가 유입되며, 끝단 부에 캐리어 가스를 분출하기 위한 캐리어 가스 노즐(111)이 형성되는 캐리어 가스 유입관(110);상기 캐리어 가스 유입관(110)의 외부에서 내부로 관통하여 설치되며, 액체 이산화탄소가 이송되는 액체 이산화탄소 이송관(120);상기 액체 이산화탄소 이송관(120)의 끝단 부에 구비되는 액체 이산화탄소 노즐(130); 및세정시 발생하는 이물질을 흡입 제거하기 위하여 상기 캐리어 가스 유입관(110)의 전단부 주위를 둘러 감싸는 위치에 상기 캐리어 가스 유입관(110)에 일체로 설치되며, 전면에
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