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연합인증

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이산화탄소 분사노즐 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-051/56
  • B05B-001/00
  • B08B-007/00
  • C23C-014/04
  • C23C-014/56
  • H01L-051/00
출원번호 10-2016-0134810 (2016-10-18)
공개번호 10-2018-0042545 (2018-04-26)
DOI http://doi.org/10.8080/1020160134810
발명자 / 주소
  • 최우철 / 경기도 안성시 공도읍 진사길 ** ***-****
출원인 / 주소
  • 주식회사 케이씨텍 / 경기도 안성시 미양면 제*공단*길 **
대리인 / 주소
  • 배철우
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록

본 발명은 분사노즐에서 분사되는 이산화탄소의 고체 입자를 미립화시켜 세정 대상물에 가해지는 손상을 최소화할 수 있는 세정장치를 제공하고자 함에 그 목적이 있다. 이를 구현하기 위한 본 발명의 이산화탄소 분사노즐은, 액체 상태의 이산화탄소가 유입되는 이산화탄소 유입구와 연통되고, 미세관 형상으로 이루어진 복수의 연결유로; 상기 연결유로의 단부에 연통되고, 상기 복수의 연결유로를 통과한 이산화탄소가 취합되어, 고체입자를 포함하는 스노우 상태의 이산화탄소로 상변화되어 분사시키는 슬릿 형상의 토출구를 포함한다.

대표청구항

액체 상태의 이산화탄소가 유입되는 이산화탄소 유입구와 연통되고, 미세관 형상으로 이루어진 복수의 연결유로;상기 연결유로의 단부에 연통되고, 상기 복수의 연결유로를 통과한 이산화탄소가 취합되어, 고체입자를 포함하는 스노우 상태의 이산화탄소로 상변화되어 분사시키는 슬릿 형상의 토출구;를 포함하는 이산화탄소 분사노즐

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. [한국] 표면세정용 승화성 고체입자 분사용 노즐 및 이를 이용한세정방법 | 윤철남
  2. [한국] 표면세정용 노즐구조체 | 장상욱
  3. [한국] 이류체 노즐과 그를 이용한 분무 방법 | 야마구찌 마사야스, 나까무라 다까노리, 시모세 아끼히또, 다니가끼 아끼히꼬
  4. [한국] 유체분사 장치 | 오상택, 이승준
  5. [한국] 화학기상증착장치의 가스공급유닛 및 이의 제조 방법 | 안영웅
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