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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0134810 (2016-10-18) | |
공개번호 | 10-2018-0042545 (2018-04-26) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160134810 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 분사노즐에서 분사되는 이산화탄소의 고체 입자를 미립화시켜 세정 대상물에 가해지는 손상을 최소화할 수 있는 세정장치를 제공하고자 함에 그 목적이 있다. 이를 구현하기 위한 본 발명의 이산화탄소 분사노즐은, 액체 상태의 이산화탄소가 유입되는 이산화탄소 유입구와 연통되고, 미세관 형상으로 이루어진 복수의 연결유로; 상기 연결유로의 단부에 연통되고, 상기 복수의 연결유로를 통과한 이산화탄소가 취합되어, 고체입자를 포함하는 스노우 상태의 이산화탄소로 상변화되어 분사시키는 슬릿 형상의 토출구를 포함한다.
액체 상태의 이산화탄소가 유입되는 이산화탄소 유입구와 연통되고, 미세관 형상으로 이루어진 복수의 연결유로;상기 연결유로의 단부에 연통되고, 상기 복수의 연결유로를 통과한 이산화탄소가 취합되어, 고체입자를 포함하는 스노우 상태의 이산화탄소로 상변화되어 분사시키는 슬릿 형상의 토출구;를 포함하는 이산화탄소 분사노즐
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