초록 ▼

본 발명은 액체 CO2를 단열 팽창시켜 승화성 드라이아이스 입자들을 생성하고 이 드라이아이스 입자들을, 고속의 캐리어 가스에 실어서 세정 대상물의 표면에 분사하여 세정 대상물 표면을 세정하는 건식 세정기술에 관한 것으로, 액체 CO2를 단열 팽창시켜 승화성 드라이아이스 입자들을 생성하고 이 드라이아이스 입자들을 고속의 캐리어 가스에 실어서 세정 대상물의 표면에 분사하여 세정 대상물 표면을 세정하는 건식 세정기술에 있어서, 액체 이산화탄소 노즐의 끝단이 캐리어 가스 노즐의 끝단보다 상대적으로 외부로 더 돌출되어 캐리어 가스 노즐에 드

본 발명은 액체 CO2를 단열 팽창시켜 승화성 드라이아이스 입자들을 생성하고 이 드라이아이스 입자들을, 고속의 캐리어 가스에 실어서 세정 대상물의 표면에 분사하여 세정 대상물 표면을 세정하는 건식 세정기술에 관한 것으로, 액체 CO2를 단열 팽창시켜 승화성 드라이아이스 입자들을 생성하고 이 드라이아이스 입자들을 고속의 캐리어 가스에 실어서 세정 대상물의 표면에 분사하여 세정 대상물 표면을 세정하는 건식 세정기술에 있어서, 액체 이산화탄소 노즐의 끝단이 캐리어 가스 노즐의 끝단보다 상대적으로 외부로 더 돌출되어 캐리어 가스 노즐에 드라이아이스 입자의 성장을 방지하고, 액체 이산화탄소 노즐 끝단에 소수성 코팅을 하여 물방울 맺힘을 방지하여 불규칙한 드라이아이스 입자 발생을 방지함으로써, 세정 대상물의 표면 손상을 효과적으로 방지함은 물론 CO2의 소모량을 대폭 줄여서 경제적인 측면에서도 매우 유리하다. 또한, 마이크로 액체 이산화탄소 노즐을 직렬 또는 병렬 배열하여 손쉽게 대면적 세정용 와이드 노즐로 변형이 가능하고, 대면적 세정에 적합한 와이드 노즐에 적용하더라도 CO2 소모량을 절감할 수 있는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

내부에 캐리어 가스가 유입되며, 끝단 부에 캐리어 가스를 분출하기 위한 캐리어 가스 노즐(111)이 형성되는 캐리어 가스 유입관(110);상기 캐리어 가스 유입관(110)의 외부에서 내부로 관통하여 설치되며, 액체 이산화탄소가 이송되는 액체 이산화탄소 이송관(120);상기 액체 이산화탄소 이송관(120)의 끝단 부에 구비되는 액체 이산화탄소 노즐(130); 및세정시 발생하는 이물질을 흡입 제거하기 위하여 상기 캐리어 가스 유입관(110)의 전단부 주위를 둘러 감싸는 위치에 상기 캐리어 가스 유입관(110)에 일체로 설치되며, 전면에

내부에 캐리어 가스가 유입되며, 끝단 부에 캐리어 가스를 분출하기 위한 캐리어 가스 노즐(111)이 형성되는 캐리어 가스 유입관(110);상기 캐리어 가스 유입관(110)의 외부에서 내부로 관통하여 설치되며, 액체 이산화탄소가 이송되는 액체 이산화탄소 이송관(120);상기 액체 이산화탄소 이송관(120)의 끝단 부에 구비되는 액체 이산화탄소 노즐(130); 및세정시 발생하는 이물질을 흡입 제거하기 위하여 상기 캐리어 가스 유입관(110)의 전단부 주위를 둘러 감싸는 위치에 상기 캐리어 가스 유입관(110)에 일체로 설치되며, 전면에는 개구부(141)가 형성되고 측면에는 흡입부(142)가 형성되는 이물질 흡입 부(140); 를 포함하되,상기 액체 이산화탄소 노즐(130)의 끝단이 상기 캐리어 가스 노즐(111)의 끝단보다 외부로 더 돌출되며, 상기 액체 이산화탄소 노즐(130)의 내경은 상기 액체 이산화탄소 이송관(120)의 내경보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 이산화탄소 스노우 세정장치.