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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0094159 (2015-07-01) | |
공개번호 | 10-2017-0004176 (2017-01-11) | |
등록번호 | 10-1759093-0000 (2017-07-12) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150094159 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-07-01) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 절연성 지지부재 상에 형성된 나노포어 구조를 이용한 나노포어 구조체, 그 제조방법 및 나노포어 구조를 이용한 이온 소자에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 나노포어 구조체는 실리콘 및 실리콘을 함유하는 화합물 중 적어도 하나를 포함하여 이루어지며 중앙부에 일측과 타측을 관통하는 마이크로포어가 형성되어 있는 절연성 지지부재와, 질화실리콘(SiN)을 포함하여 이루어지며 상기 절연성 지지부재 상에 배치되고 중앙부에 상기 마이크로포어와 연통되도록 상기 마이크로포어보다 크기가 작은 나노포어가 형성되어 있는 나노포어 막을
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