최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2015-0114588 (2015-08-13) | |
공개번호 | 10-2017-0020643 (2017-02-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150114588 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2015-08-13) | |
심사진행상태 | 거절결정(재심사) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명의 일 실시예는 틸팅 각도 조절이 가능한 스퍼터링 장치에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 스퍼터링 공정 중에 타겟이 수직 방향으로부터 약간 비스듬한 위치를 가지나, 타겟 교체 작업 중에는 타겟이 수직 방향으로 위치됨으로써, 타겟의 교체 작업이 용이한 타겟의 틸팅 각도 조절이 가능한 스퍼터링 장치를 제공하는데 있다.이를 위해 본 발명은 지면에 대하여 경사진 수직 방향으로 타겟이 설치된 캐소드부; 및 상기 캐소드부의 타겟 교체 시 상기 캐소드부를 상기 지면에 대하여 수직 방향으로 위치시키는 틸팅부를 포함하는 타겟의
지면에 대하여 경사진 수직 방향으로 타겟이 설치된 캐소드부; 및상기 캐소드부의 타겟 교체 시 상기 캐소드부를 상기 지면에 대하여 수직 방향으로 위치시키는 틸팅부를 포함함을 특징으로 하는 타겟의 틸팅 각도 조절이 가능한 스퍼터링 장치.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.