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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2015-0137891 (2015-09-30) | |
| 공개번호 | 10-2017-0039006 (2017-04-10) | |
| 등록번호 | 10-1743205-0000 (2017-05-29) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020150137891 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2015-09-30) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 기술은 적외선 센서의 열전도도를 이용한 진공도 측정 방법이 개시된다. 본 발명의 구체적인 예에 따르면, 바이어스에 의한 저항과 열전도도에 대한 관계식과 열전도도와 압력에 대한 관계식을 토대로 칩 내부의 진공도를 측정하여 기존의 진공 게이지를 측정하는 압력 센서를 제거하여 볼로미터 적외선 센서의 제조 공정 및 제조 단가를 줄일 수 있고 칩의 크기를 근본적으로 줄일 수 있고, 열전도도를 이용하여 측정된 진공도를 토대로 적외선 센서의 불량을 검출하여 별도에 장비 추가 없이 간편하게 적외선 센서의 불량을 검출할 수 있다.
소자 냉각용 열전 냉각기, 진공을 유지하기 위한 게터, 적외선 센서, 및 온도 센서를 하나의 소자로 금속 진공 패키징된 적외선 센서; 및 상기 적외선 센서에서 바이어스된 저항 변동에 의한 열전도도의 거동과 열전도도 변동에 따른 압력 거동을 기초로 상기 적외선 센서의 진공도를 측정하는 연산부를 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 센서의 열전도도를 이용한 진공도 측정 장치.
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