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[국내논문] Vanadium Oxide Microbolometer Using ZnO Sandwich Layer 원문보기

Applied science and convergence technology, v.24 no.5, 2015년, pp.178 - 183  

Han, Myung-Soo (Medical Photonics Research Center, Korea Photonics Technology Institute) ,  Kim, Dae Hyeon (Medical Photonics Research Center, Korea Photonics Technology Institute) ,  Ko, Hang Ju (Medical Photonics Research Center, Korea Photonics Technology Institute) ,  Kim, Heetae (Rare Isotope Science Project, Institute for Basic Science)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Optical, electrical and structural properties of VOx/ZnO/VOx thin film are studied. The VOx/ZnO/VOx multilayer is deposited by using a radio frequency (RF) sputtering system. The VOx/ZnO/VOx thin film shows the high temperature coefficient of resistance (TCR) of $-3.12%/^{\circ}C$ and the...

Keyword

#IR detector   #Microbolometer   #Oxygen annealing   #TCR  

참고문헌 (24)

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