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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0139105 (2015-10-02) | |
공개번호 | 10-2017-0040427 (2017-04-13) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150139105 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
본 발명의 일 실시예는 출광유닛과 수광유닛 및, 출광유닛의 출광부 주변에 가스를 분사하는 블로잉유닛을 포함하는 박막두께측정기를 개시한다.
대상체에 광을 조사하는 출광유닛,상기 대상체에서 반사된 광을 수광하는 수광유닛 및,상기 출광유닛의 출광부 주변에 가스를 분사하는 블로잉유닛을 포함하는 박막두께측정기.
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