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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2015-0170057 (2015-12-01) | |
| 공개번호 | 10-2017-0064622 (2017-06-12) | |
| 등록번호 | 10-1756550-0000 (2017-07-04) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020150170057 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2015-12-01) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 플라즈마 멸균기 및 플라즈마 멸균기의 과산화수소 기체 발생장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 플라즈마 멸균기는 멸균챔버를 100torr 이상의 상압(준상압)으로 형성한 다음, 비활성 기체를 이용하여 플라즈마를 발생시키고, 발생된 플라즈마에 의해 과산화수소 기체로부터 OH 라디컬을 생성시킴으로써 멸균대상을 멸균시키며, 이때 비활성 기체를 이용하여 과산화수소 기체를 생성하는 것을 특징으로 한다.
멸균 공간을 제공하는 멸균 챔버;상기 멸균 챔버 내부를 상압 또는 준상압 상태의 약한 진공을 형성하는 진공펌프;상기 진공펌프에 의해 상기 멸균 챔버 내부에 약한 진공이 형성된 상태에서, 상기 멸균 챔버 내부로 비활성 기체를 공급하는 비활성 기체 공급부;상기 멸균 챔버 내부에 초고주파를 인가하여 비활성 기체 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생부; 및상기 멸균 챔버 내부에 비활성 기체 플라즈마가 발생된 상태에서, 상기 비활성 기체의 압력으로 액체 상태의 과산화수소를 기화시켜 상기 멸균 챔버 내부로 과산화수소 기체를 공급하는 과산화수소
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