최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2015-0181189 (2015-12-17) | |
공개번호 | 10-2017-0011960 (2017-02-02) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2015-144969 (2015-07-22) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150181189 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사진행상태 | 포기(등록료 미납) | |
법적상태 | 포기 |
(과제) 알칼리성을 나타내는 현상액의 알칼리 성분, 용해된 포토레지스트, 흡수된 이산화탄소 등의 각 성분의 농도를 현상액의 특성값으로부터 정밀도 좋게 산출하는 성분 농도 측정 방법 및 장치, 및 현상액의 현상성능을 최적인 상태로 유지 및 관리하는 관리 방법 및 장치를 제공한다.(해결 수단) 현상액의 성분 농도와 상관이 있는 현상액의 복수의 특성값이 측정부(1)에서 측정된다. 측정된 복수의 특성값은 연산부(2)로 보내져 다변량 해석법에 의해 현상액의 성분 농도가 산출된다. 또한, 측정된 특성값 또는 산출된 알칼리 성분 농도 중 어느
반복하여 사용되고, 알칼리성을 나타내는 현상액의 성분 농도와 상관이 있는 상기 현상액의 복수의 특성값을 측정하는 스텝과,측정된 상기 복수의 특성값에 의거하여 다변량 해석법에 의해 상기 현상액의 성분 농도를 산출하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 현상액의 성분 농도 측정 방법.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.