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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0161410 (2017-11-29) | |
공개번호 | 10-2018-0087125 (2018-08-01) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2017-009837 (2017-01-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170161410 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 원하는 현상 성능을 유지할 수 있고, 기판 상의 배선 패턴의 원하는 선폭 및 잔막 두께를 유지할 수 있는 현상 처리를 실현 가능하며, 또한 현상액의 도전율, 용해 포토레지스트 농도 및 흡수 이산화탄소 농도를 감시할 수 있는 현상액 관리 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.이러한 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 현상액 관리 장치(D)는, 반복 사용되는, 알칼리성을 나타내는 현상액의 용해 포토레지스트 농도 및 흡수 이산화탄소 농도를 지표로 하여 특정되는 농도 영역마다 소정의 현상 성능이 되는 것이 미리 확인된 상기 현상액의
반복 사용되는, 알칼리성을 나타내는 현상액의 용해 포토레지스트 농도 및 흡수 이산화탄소 농도를 지표로 하여 특정되는 농도 영역마다 소정의 현상 성능이 되는 것이 미리 확인된 상기 현상액의 도전율값을 갖는 도전율 데이터가 저장되어 있는 데이터 기억부와,상기 현상액의 용해 포토레지스트 농도의 측정값 및 흡수 이산화탄소 농도의 측정값에 의해 특정되는 농도 영역의 상기 데이터 기억부에 저장된 상기 도전율값을 제어 목표값으로 하고, 상기 현상액의 도전율이 상기 제어 목표값이 되도록 상기 현상액에 보급되는 보충액을 송액(送液)하는 관로에 마련
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