[특허]현상액의 성분 농도 측정 방법과 장치 및 현상액 관리 방법과 장치

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현상액의 성분 농도 측정 방법과 장치 및 현상액 관리 방법과 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	G03F-007/32 G03F-007/30 H01L-021/027
출원번호	10-2015-0181189 (2015-12-17)
공개번호	10-2017-0011960 (2017-02-02)
우선권정보	일본(JP) JP-P-2015-144969 (2015-07-22)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020150181189
발명자 / 주소	나카가와 토시모토 / 일본국 카나가와켄 카와사키시 미야마에쿠 노가와 ****반치 가부시키가이샤 히라마리카겐큐죠 나이
출원인 / 주소	가부시키가이샤 히라마리카겐큐죠 / 일본국 카나가와켄 카와사키시 미야마에쿠 노가와 ****반치
대리인 / 주소	하영욱
심사진행상태	포기(등록료 미납)
법적상태	포기

초록 ▼

(과제) 알칼리성을 나타내는 현상액의 알칼리 성분, 용해된 포토레지스트, 흡수된 이산화탄소 등의 각 성분의 농도를 현상액의 특성값으로부터 정밀도 좋게 산출하는 성분 농도 측정 방법 및 장치, 및 현상액의 현상성능을 최적인 상태로 유지 및 관리하는 관리 방법 및 장치를 제공한다.(해결 수단) 현상액의 성분 농도와 상관이 있는 현상액의 복수의 특성값이 측정부(1)에서 측정된다. 측정된 복수의 특성값은 연산부(2)로 보내져 다변량 해석법에 의해 현상액의 성분 농도가 산출된다. 또한, 측정된 특성값 또는 산출된 알칼리 성분 농도 중 어느 하나가 소정의 관리값이 되도록 측정된 특성값 또는 산출된 포토레지스트의 농도 중 어느 하나가 소정의 관리 범위 내가 되도록 및 측정된 특성값 또는 산출된 이산화탄소의 농도가 소정의 관리 범위 내가 되도록 현상액에 현상액 원액, 신액 또는 순수 등의 보충액을 보급하도록 제어부(3)에 의해 제어한다.

대표청구항

반복하여 사용되고, 알칼리성을 나타내는 현상액의 성분 농도와 상관이 있는 상기 현상액의 복수의 특성값을 측정하는 스텝과,측정된 상기 복수의 특성값에 의거하여 다변량 해석법에 의해 상기 현상액의 성분 농도를 산출하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 현상액의 성분 농도 측정 방법.

이 특허에 인용된 특허 (1)

[일본] DEVICE FOR MEASURING CONCENTRATION OF CARBONIC ACID-BASED SALT, SYSTEM FOR CONTROLLING ALKALI DEVELOPING SOLUTION, AND METHOD FOR MEASURING CONCENTRATION OF CARBONIC ACID-BASED SALT | KITAGAWA YOSHINARI, OSAWA NORITOSHI
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IPC 상위 출원인

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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