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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0182218 (2015-12-18) | |
공개번호 | 10-2017-0073378 (2017-06-28) | |
등록번호 | 10-1782612-0000 (2017-09-21) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150182218 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-12-18) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
본 발명의 한 실시예에 따른 SF6 가스 처리 장치 장치는 SF6를 HF가스 및 SO2가스를 포함하는 분해 가스로 분해하는 분해 장치, SF6 분해 장치와 가스 공급관으로 연결된 유동층 반응기, 유동층 반응기의 상부와 연결되어 유동층 반응기 내부에 CaCO3를 공급하는 흡수제 공급부, 유동층 반응기로부터 배출되는 배출물을 포집하는 포집기를 포함하고, 배출물은 상기 분해 가스와 상기 CaCO3가 분해되어 생성되는 CaO가 반응하여 생성된다.
SF6를 HF가스 및 SO2가스를 포함하는 분해 가스로 분해하는 분해 장치,상기 분해 장치와 가스 공급관으로 연결된 유동층 반응기,상기 유동층 반응기의 상부와 연결되어 상기 유동층 반응기 내부에 CaCO3를 공급하는 흡수제 공급부,상기 유동층 반응기로부터 배출되는 배출물을 포집하는 포집기를 포함하고,상기 배출물은 상기 분해 가스와 상기 CaCO3가 상기 유동층 반응기 내에서 650℃이상의 고온 소성으로 분해되어 생성되는 CaO가 반응하여 생성되는 SF6 가스 처리 장치.
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