[특허]세정액 조성물

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)	G03F-007/42 C11D-007/32 H01L-021/306
출원번호	10-2015-0182957 (2015-12-21)
공개번호	10-2017-0074003 (2017-06-29)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020150182957
발명자 / 주소	윤주형 / 경기도 안성시 미양면 제공단길 ** 이혜희 / 경기도 안성시 미양면 제공단길 **
출원인 / 주소	주식회사 케이씨텍 / 경기도 안성시 미양면 제공단길 **
대리인 / 주소	특허법인 무한
심사진행상태	취하(심사미청구)
법적상태	취하

초록 ▼

본 발명은 세정액 조성물에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 세정액 조성물은 아민-함유 화합물; 킬레이트제; 및 부식방지제;를 포함하고, 텅스텐을 함유하는 웨이퍼의 화학기계적 연마 후의 세정 공정에 사용되고, 음의 제타전위를 가지는 알카리성으로서 텅스텐의 산화 및 부식을 방지하면서 유의적으로 금속을 에칭시키거나 침착물을 남기거나 웨이퍼를 오염시키지 않으면서 텅스텐 막 연마 후 잔류 입자, 유기 잔류물 및 금속 오염물을 제거할 수 있다.또한, 오염물 제거 후 웨이퍼 상으로의 재침착을 효율적으로 방지하여, 후공정에서 발생할

대표청구항

아민-함유 화합물;킬레이트제; 및부식방지제;를 포함하는, 세정액 조성물.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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