초록

본 발명은 진공 탈가스 공정을 수행하기 위하여 진공조에 진공을 형성시키는 진공 배기 시스템의 흡입변에 오류 발생시 진공 배기 시스템을 운전하는 방법에 관한 것으로서, 본 발명은 다단 진공 배기 시스템에서 이젝터의 흡입변 이상 발생하여 고진공 조업이 불가능해질 경우에 다단 진공 배기 시스템의 조업 패턴을 변경하고, 비상조치 하여 진공능력이 떨어진 진공 라인의 진공도를 높여서 수리시까지 생산라인이 정지되는 것을 방지하는 진공 배기 시스템 운전 방법을 제공한다.

대표청구항 ▼

진공 탈가스 공정을 수행하는 진공조에 진공을 형성시키기 위하여 다수의 이젝터가 병렬로 배치되고, 다수의 스팀공급라인을 매개로 개별적으로 스팀을 공급하는 스팀헤더가 연결되며, 개폐에 의해 상기 진공조에서 배기된 배가스가 상기 이젝터로 유입되는 것을 개별적으로 단속하는 다수의 흡입변이 구비되고, 상기 스팀헤더에서 상기 이젝터로 공급되는 스팀의 유동을 개별적으로 단속하는 다수의 작동변 및 상기 다수의 작동변과 직렬로 설치되어 유동되는 스팀의 유량을 수동으로 제어하는 다수의 수동밸브가 구비되는 진공 배기 시스템을 운전하는 방법으로서,상기

진공 탈가스 공정을 수행하는 진공조에 진공을 형성시키기 위하여 다수의 이젝터가 병렬로 배치되고, 다수의 스팀공급라인을 매개로 개별적으로 스팀을 공급하는 스팀헤더가 연결되며, 개폐에 의해 상기 진공조에서 배기된 배가스가 상기 이젝터로 유입되는 것을 개별적으로 단속하는 다수의 흡입변이 구비되고, 상기 스팀헤더에서 상기 이젝터로 공급되는 스팀의 유동을 개별적으로 단속하는 다수의 작동변 및 상기 다수의 작동변과 직렬로 설치되어 유동되는 스팀의 유량을 수동으로 제어하는 다수의 수동밸브가 구비되는 진공 배기 시스템을 운전하는 방법으로서,상기 다수의 흡입변 중 어느 하나 이상의 흡입변 작동에 오류가 발생되면 상기 흡입변과 작동변의 조업패턴을 다른 조업패턴으로 변경하는 패턴 변경단계와;이상이 발생된 흡입변이 연결되는 이젝터로 스팀을 공급하는 수동밸브의 개도량을 조절하여 해당 이젝터로 공급되는 스팀의 양을 조절하는 스팀량 조절단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 배기 시스템 운전 방법.