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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-7022660 (2015-08-21) | |
공개번호 | 10-2015-0123806 (2015-11-04) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2013-035713 (2013-02-26) | |
국제출원번호 | PCT/JP2014/000469 (2014-01-30) | |
국제공개번호 | WO 2014/132561 (2014-09-04) | |
번역문제출일자 | 2015-08-21 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020157022660 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(등록결정전 취하서제출) | |
법적상태 | 취하 |
본 발명은, 실리콘결정 제조장치 내에 탄소재 히터를 배설하고, 비산화성 분위기하에서 상기 탄소재 히터에 의해 가열된 용기 내에 수용된 실리콘 멜트로부터 실리콘결정을 제조할 때, 부차적으로, 상기 탄소재 히터의 표면에 탄화규소를 형성시키고, 이 부차적인 탄화규소를 회수함으로써 탄화규소를 제조하는 탄화규소의 제조방법을 제공한다.이에 따라, 저비용, 저에너지로 탄화규소를 제조할 수 있는 방법이 제공된다.
실리콘결정 제조장치 내에 탄소재 히터를 배설하고, 비산화성 분위기하에서 상기 탄소재 히터에 의해 가열된 용기 내에 수용된 실리콘 멜트로부터 실리콘결정을 제조할 때, 부차적으로, 상기 탄소재 히터의 표면에 탄화규소를 형성시키고, 이 부차적인 탄화규소를 회수함으로써 탄화규소를 제조하는 것을 특징으로 하는 탄화규소의 제조방법.
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