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연합인증

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탄화규소의 제조방법 및 탄화규소 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C01B-031/36
  • C30B-015/14
  • C30B-029/06
  • C30B-029/36
출원번호 10-2015-7022660 (2015-08-21)
공개번호 10-2015-0123806 (2015-11-04)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2013-035713 (2013-02-26)
국제출원번호 PCT/JP2014/000469 (2014-01-30)
국제공개번호 WO 2014/132561 (2014-09-04)
번역문제출일자 2015-08-21
DOI http://doi.org/10.8080/1020157022660
발명자 / 주소
  • 호시, 료지 / 일본, 후쿠시마 *******, 니시시라카와-군, 니시고-무라, 오아자 오다쿠라, 아자 오히라, ***, 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤, 시라카와 연구개발 센터내
  • 마츠모토, 스구루 / 일본, 후쿠시마 *******, 니시시라카와-군, 니시고-무라, 오아자 오다쿠라, 아자 오히라, ***, 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤, 시라카와 공장 내
  • 아오키, 요시타카 / 일본, 군마 *******, 안나카-시, 마츠이다-마치, 히토미, *-**, 신에쓰 가가꾸 고교 가부시키가이샤, 실리콘 전자 재료 연구센터내
  • 마츠이, 치나미 / 일본, 군마 *******, 안나카-시, 이소베-*쵸메, **-*, 신에쓰 가가꾸 고교 가부시키가이샤, 군마사업소내
출원인 / 주소
  • 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 / 일본 도쿄토 치요다쿠 오테마치 *쵸메 *-*
  • 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 / 일본 도꾜도 지요다꾸 오떼마치 *쪼메 *방 *고
대리인 / 주소
  • 특허법인씨엔에스
심사진행상태 취하(등록결정전 취하서제출)
법적상태 취하

초록

본 발명은, 실리콘결정 제조장치 내에 탄소재 히터를 배설하고, 비산화성 분위기하에서 상기 탄소재 히터에 의해 가열된 용기 내에 수용된 실리콘 멜트로부터 실리콘결정을 제조할 때, 부차적으로, 상기 탄소재 히터의 표면에 탄화규소를 형성시키고, 이 부차적인 탄화규소를 회수함으로써 탄화규소를 제조하는 탄화규소의 제조방법을 제공한다.이에 따라, 저비용, 저에너지로 탄화규소를 제조할 수 있는 방법이 제공된다.

대표청구항

실리콘결정 제조장치 내에 탄소재 히터를 배설하고, 비산화성 분위기하에서 상기 탄소재 히터에 의해 가열된 용기 내에 수용된 실리콘 멜트로부터 실리콘결정을 제조할 때, 부차적으로, 상기 탄소재 히터의 표면에 탄화규소를 형성시키고, 이 부차적인 탄화규소를 회수함으로써 탄화규소를 제조하는 것을 특징으로 하는 탄화규소의 제조방법.

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