초록 ▼

본 발명은 비전검사에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 웨이퍼, 태양전지용 웨이퍼 등 피검사물의 표면에 대한 비전검사를 수행하는 비전검사모듈 및 비전검사방법에 관한 것이다.본 발명은, 피검사물(10)에 대하여 광을 조사하는 광원(110)과, 상기 광원(110)에 의하여 광이 조사된 피검사물(10)에 대한 2D 이미지를 획득하는 2D 카메라(120)를 포함하는 2D 검사부(100)와; 상기 2D 검사부(100)의 일측에 결합되어 피검사물(10)에 대하여 백색광의 조사 후 수광되는 파장을 검출하는 파장검출부(230)를 포함하는 크

본 발명은 비전검사에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 웨이퍼, 태양전지용 웨이퍼 등 피검사물의 표면에 대한 비전검사를 수행하는 비전검사모듈 및 비전검사방법에 관한 것이다.본 발명은, 피검사물(10)에 대하여 광을 조사하는 광원(110)과, 상기 광원(110)에 의하여 광이 조사된 피검사물(10)에 대한 2D 이미지를 획득하는 2D 카메라(120)를 포함하는 2D 검사부(100)와; 상기 2D 검사부(100)의 일측에 결합되어 피검사물(10)에 대하여 백색광의 조사 후 수광되는 파장을 검출하는 파장검출부(230)를 포함하는 크로마틱 콘포컬 검사부(200)와; 상기 2D 검사부(100) 및 상기 크로마틱 콘포컬 검사부(200)를 제어하며, 상기 2D 검사부(100)에 의하여 획득된 이미지를 분석하여 피검사물(10)의 표면상태를 검사하는 제1비전검사 및 상기 크로마틱 콘포컬 검사부(200)에 의하여 검출된 파장에 따라 상기 피검사물(10)의 표면상태를 검사하는 제2비전검사를 수행하는 제어부(300)를 포함하는 비전검사모듈을 개시시한다.

대표청구항 ▼

피검사물(10)의 상부에서 상기 피검사물(10)에 대한 상대 수평이동되도록 설치되는 비전검사모듈로서,피검사물(10)에 대하여 광을 조사하는 광원(110)과, 상기 광원(110)에 의하여 광이 조사된 피검사물(10)에 대한 2D 이미지를 획득하는 2D 카메라(120)를 포함하는 2D 검사부(100)와;상기 2D 검사부(100)의 일측에 결합되어 피검사물(10)에 대하여 백색광의 조사 후 수광되는 파장을 검출하는 파장검출부(230)를 포함하는 크로마틱 콘포컬 검사부(200)와;상기 2D 검사부(100) 및 상기 크로마틱 콘포컬 검사부(

피검사물(10)의 상부에서 상기 피검사물(10)에 대한 상대 수평이동되도록 설치되는 비전검사모듈로서,피검사물(10)에 대하여 광을 조사하는 광원(110)과, 상기 광원(110)에 의하여 광이 조사된 피검사물(10)에 대한 2D 이미지를 획득하는 2D 카메라(120)를 포함하는 2D 검사부(100)와;상기 2D 검사부(100)의 일측에 결합되어 피검사물(10)에 대하여 백색광의 조사 후 수광되는 파장을 검출하는 파장검출부(230)를 포함하는 크로마틱 콘포컬 검사부(200)와;상기 2D 검사부(100) 및 상기 크로마틱 콘포컬 검사부(200)를 제어하며, 상기 2D 검사부(100)에 의하여 획득된 이미지를 분석하여 피검사물(10)의 표면상태를 검사하는 제1비전검사 및 상기 크로마틱 콘포컬 검사부(200)에 의하여 검출된 파장에 따라 상기 피검사물(10)의 표면상태를 검사하는 제2비전검사를 수행하는 제어부(300)를 포함하는 비전검사모듈.