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NTIS 바로가기주관연구기관 | 제너셈(주) |
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연구책임자 | 한복우 |
참여연구자 | 이희동 , 여주헌 , 윤필 , 김도형 , 박민구 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-07 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201800013043 |
과제고유번호 | 1425061133 |
사업명 | 중소기업상용화기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-12-01 |
키워드 | FCCSP.Wafer.Bump.3D Vision.Gantry. |
□ 개발목표
- 계획 :
- 검사 대상 분석 및 검사 module 기본 설계
- 초고속 초정밀 2차원+3차원 광학식 검사 모듈 개발
- 실적 :
- 검사 대상에 대한 불량유형 분석
- 광학식 검사 모듈 제작
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 높이 분해능
- 계획 : 0.1um
- 실적 : - Programmable 분해능
2. Lateral 분해능
- 계획 : 5um 이하
- 실적 : - Camera 성능 인증으로 달성
3. 높이 측정
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