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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0007184 (2016-01-20) | |
공개번호 | 10-2017-0087328 (2017-07-28) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160007184 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 비전검사에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 웨이퍼, 태양전지용 웨이퍼 등 피검사물의 표면에 대한 비전검사를 수행하는 비전검사모듈 및 비전검사방법에 관한 것이다.본 발명은, 피검사물(10)에 대하여 광을 조사하는 광원(110)과, 상기 광원(110)에 의하여 광이 조사된 피검사물(10)에 대한 2D 이미지를 획득하는 2D 카메라(120)를 포함하는 2D 검사부(100)와; 상기 2D 검사부(100)의 일측에 결합되어 피검사물(10)에 대하여 백색광의 조사 후 수광되는 파장을 검출하는 파장검출부(230)를 포함하는 크
피검사물(10)의 상부에서 상기 피검사물(10)에 대한 상대 수평이동되도록 설치되는 비전검사모듈로서,피검사물(10)에 대하여 광을 조사하는 광원(110)과, 상기 광원(110)에 의하여 광이 조사된 피검사물(10)에 대한 2D 이미지를 획득하는 2D 카메라(120)를 포함하는 2D 검사부(100)와;상기 2D 검사부(100)의 일측에 결합되어 피검사물(10)에 대하여 백색광의 조사 후 수광되는 파장을 검출하는 파장검출부(230)를 포함하는 크로마틱 콘포컬 검사부(200)와;상기 2D 검사부(100) 및 상기 크로마틱 콘포컬 검사부(
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