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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0019984 (2016-02-19) | |
등록번호 | 10-1768840-0000 (2017-08-08) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160019984 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-02-19) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 질화규소의 제조방법에 관한 것이다. 상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은 Si 원료분말, SiO2 및 이테르븀계 첨가제를 혼합하여 혼합물을 제조하는 단계, 상기 혼합물을 기설정된 형상의 성형체로 성형하는 단계 및 상기 성형체를 질화반응시키는 단계를 포함하는 질화규소의 제조방법을 제공한다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 이테르븀 첨가제가 규소의 질화를 촉진하고 SiO2가 CO의 흡착을 방해하는 역할을 하기 때문에, 질화규소 표면에 탄화규소가 발생하는 것을 억제할 수 있다. 이를 통해, 본 발명은 질화규소에 원치 않는 특
Si 원료분말, SiO2 및 이테르븀계 첨가제를 혼합하여 혼합물을 제조하는 단계;상기 혼합물을 기설정된 형상의 성형체로 성형하는 단계; 및상기 성형체를 질화반응시키는 단계를 포함하고,상기 성형체를 질화반응시키는 단계는,Si 원료분말이 용융되지 않도록, 반응온도(℃)가 1000 내지 1400℃이고,상기 반응온도에 도달하기까지의 승온속도가 1℃/min 내지 20℃/min인 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소의 제조방법.
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