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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0024096 (2016-02-29) | |
공개번호 | 10-2017-0101504 (2017-09-06) | |
등록번호 | 10-1853889-0000 (2018-04-25) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160024096 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-02-29) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 일 측면에 따르면, 본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 양단부가 각각 지지되도록 상기 기판을 기판 홀더로 로딩하는 단계와; 상기 기판에 상향으로 솟음(chamber)을 주는 단계와; 상기 기판 상부에서 정전척을 하강시켜 상기 기판을 상기 정전척에 부착하는 단계와; 상기 정전척의 상기 기판과 마스크를 얼라인하는 단계와; 상기 기판과 상기 마스크를 합착하는 단계를 포함하는, 정전척을 이용한 기판 얼라인 방법이 제공된다.
기판의 양단부가 각각 지지되도록 상기 기판을 기판 홀더로 로딩하는 단계와;상기 기판에 상향으로 솟음(chamber)을 주는 단계와;상기 기판의 중앙부에서 가장자리 방향으로 서서히 부착되도록 상기 기판 상부에서 정전척을 하강시켜 상기 기판을 상기 정전척에 편평하게 부착하는 단계와;상기 정전척의 상기 기판과 마스크를 얼라인하는 단계와;상기 기판과 상기 마스크를 합착하는 단계를 포함하되,상기 정전척은,격자 상으로 배치되는 복수의 단위 정전척 모듈 또는 상기 기판의 일단부에서 타단부 방향으로 상응하여 배치되는 복수의 단위 정전척 모듈을 포
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