본 발명은 정전척의 제조방법에 관한 것으로 SiC, B4C, Si3N4, TiB2, AlON, 2MgO, 2Al2O3, 5SiO2, Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BxCy, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로 이루어진 군에서 1종 또는 2종 이상이 각각 혼합 형성되어 이루어지며, 상하부가 판형으로 형성되는 베이스가 구비되는 제1단계와, 상기 베이스의 상부 외측 테두리에 상부측으로 연장되는 일정한 두께를 갖는
본 발명은 정전척의 제조방법에 관한 것으로 SiC, B4C, Si3N4, TiB2, AlON, 2MgO, 2Al2O3, 5SiO2, Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BxCy, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로 이루어진 군에서 1종 또는 2종 이상이 각각 혼합 형성되어 이루어지며, 상하부가 판형으로 형성되는 베이스가 구비되는 제1단계와, 상기 베이스의 상부 외측 테두리에 상부측으로 연장되는 일정한 두께를 갖는 제1댐을 형성하는 제2단계와, 상기 제1댐의 내측에 페이스트수지조성물을 제1댐이 상부측으로 연장된 높이만큼 주입함과 아울러 페이스트수지조성물을 경화시켜 절연층을 형성하는 제3단계와, 상기 절연층 및 제1댐의 상부면 평탄도를 5~30㎛ 이내로 가공하는 제4단계와, 상기 절연층의 상부면에 설정된 패턴에 따라 돌출된 요철 형상으로 전극층을 형성하는 제5단계와, 상기 제1댐의 상부에 상부측으로 연장되는 일정한 두께를 갖는 제2댐을 형성하는 제6단계와, 상기 제2댐의 내측에 페이스트수지조성물을 제2댐이 상부측으로 연장된 높이만큼 주입함과 아울러 페이스트수지조성물을 경화시켜 유전층을 형성하는 제7단계와, 상기 유전층 및 제2댐의 상부면 평탄도를 5~30㎛ 이내로 가공하는 제8단계와, 상기 전극층에 전압를 공급하는 커넥터를 연결하여 구비하는 제9단계로 이루어진다.또한, 본 발명은 SiC, B4C, Si3N4, TiB2, AlON, 2MgO, 2Al2O3, 5SiO2, Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BxCy, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로 이루어진 군에서 1종 또는 2종 이상이 각각 혼합 형성되어 이루어지며, 상하부가 판형으로 형성되는 베이스가 구비되는 제10단계와, 상기 베이스의 상부 외측 테두리에 상부측으로 연장되는 일정한 두께를 갖는 제1댐을 형성하는 제20단계와, 상기 제1댐의 내측에 페이스트수지조성물을 제1댐이 상부측으로 연장된 높이만큼 주입함과 아울러 페이스트수지조성물을 경화시켜 절연층을 형성하는 제30단계와, 상기 절연층 및 제1댐의 상부면 평탄도를 5~30㎛ 이내로 가공하는 제40단계와, 상기 절연층의 상부면에 설정된 패턴에 따라 돌출된 요철 형상으로 전극층을 형성하는 제50단계와, 상기 절연층 및 제1댐의 상부에 전극층을 감싸도록 SiC, B4C, Si3N4, TiB2, AlON, 2MgO, 2Al2O3, 5SiO2, Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BxCy, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로 이루어진 군에서 1종 또는 2종 이상이 각각 혼합 형성되어 이루어지는 용사코팅용 분말을 용사 코팅하여 유전층을 형성함과 아울러 유전층의 상부면 평탄도를 5~30㎛ 이내로 가공하는 제60단계와, 상기 전극층에 전압를 공급하는 커넥터를 연결하여 구비하는 제70단계로 이루어진다.
대표청구항▼
SiC, B4C, Si3N4, TiB2, AlON, 2MgO, 2Al2O3, 5SiO2, Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BxCy, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로 이루어진 군에서 1종 또는 2종 이상이 각각 혼합 형성되어 이루어지며, 상하부가 판형으로 형성되는 베이스(10)가 구비되는 제1단계(S1);상기 베이스(10)의 상부 외측 테두리에 상부측으로 연장되는 일정한 두께를 갖는 제1댐(12)을 형성하는
SiC, B4C, Si3N4, TiB2, AlON, 2MgO, 2Al2O3, 5SiO2, Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BxCy, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로 이루어진 군에서 1종 또는 2종 이상이 각각 혼합 형성되어 이루어지며, 상하부가 판형으로 형성되는 베이스(10)가 구비되는 제1단계(S1);상기 베이스(10)의 상부 외측 테두리에 상부측으로 연장되는 일정한 두께를 갖는 제1댐(12)을 형성하는 제2단계(S2);상기 제1댐(12)의 내측에 페이스트수지조성물(14)을 제1댐(12)이 상부측으로 연장된 높이만큼 주입함과 아울러 페이스트수지조성물(14)을 경화시켜 절연층(16)을 형성하는 제3단계(S3);상기 절연층(16) 및 제1댐(12)의 상부면 평탄도를 5~30㎛ 이내로 가공하는 제4단계(S4);상기 절연층(16)의 상부면에 설정된 패턴에 따라 돌출된 요철 형상으로 전극층(18)을 형성하는 제5단계(S5);상기 제1댐(12)의 상부에 상부측으로 연장되는 일정한 두께를 갖는 제2댐(20)을 형성하는 제6단계(S6);상기 제2댐(20)의 내측에 페이스트수지조성물(14)을 제2댐(20)이 상부측으로 연장된 높이만큼 주입함과 아울러 페이스트수지조성물(14)을 경화시켜 유전층(22)을 형성하는 제7단계(S7);상기 유전층(22) 및 제2댐(20)의 상부면 평탄도를 5~30㎛ 이내로 가공하는 제8단계(S8);상기 전극층(18)에 전압을 공급하는 커넥터(24)를 연결하여 구비하는 제9단계(S9)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전척의 제조방법.
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