[특허]정전척을 이용한 기판 얼라인 방법

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/68 H01L-021/18 H01L-021/447 H01L-021/683 H01L-021/687
출원번호	10-2016-0024096 (2016-02-29)
공개번호	10-2017-0101504 (2017-09-06)
등록번호	10-1853889-0000 (2018-04-25)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020160024096
발명자 / 주소	김준승 / 경기도 수원시 권선구 산업로*번길 * (고색동)
출원인 / 주소	주식회사 선익시스템 / 경기도 수원시 권선구 산업로*번길 *(고색동)
대리인 / 주소	특허법인 제나
심사청구여부	있음 (2016-02-29)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명의 일 측면에 따르면, 본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 양단부가 각각 지지되도록 상기 기판을 기판 홀더로 로딩하는 단계와; 상기 기판에 상향으로 솟음(chamber)을 주는 단계와; 상기 기판 상부에서 정전척을 하강시켜 상기 기판을 상기 정전척에 부착하는 단계와; 상기 정전척의 상기 기판과 마스크를 얼라인하는 단계와; 상기 기판과 상기 마스크를 합착하는 단계를 포함하는, 정전척을 이용한 기판 얼라인 방법이 제공된다.

대표청구항 ▼

기판의 양단부가 각각 지지되도록 상기 기판을 기판 홀더로 로딩하는 단계와;상기 기판에 상향으로 솟음(chamber)을 주는 단계와;상기 기판의 중앙부에서 가장자리 방향으로 서서히 부착되도록 상기 기판 상부에서 정전척을 하강시켜 상기 기판을 상기 정전척에 편평하게 부착하는 단계와;상기 정전척의 상기 기판과 마스크를 얼라인하는 단계와;상기 기판과 상기 마스크를 합착하는 단계를 포함하되,상기 정전척은,격자 상으로 배치되는 복수의 단위 정전척 모듈 또는 상기 기판의 일단부에서 타단부 방향으로 상응하여 배치되는 복수의 단위 정전척 모듈을 포함하며,상기 기판을 상기 정전척에 부착하는 단계는,상기 기판의 중심부에서 외측 방향으로 순차적으로 부착되도록 상기 정전척의 중심부에서 외측 방향으로 순차적으로 상기 단위 정전척 모듈이 온(on)됨으로써 수행되는 것을 특징으로 하는, 정전척을 이용한 기판 얼라인 방법.

발명자의 다른 특허 :

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[일본] PROXIMITY EXPOSURE APPARATUS, METHOD FOR APPLYING EXPOSURE LIGHT OF PROXIMITY EXPOSURE APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY PANEL SUBSTRATE | MATSUOKA MASAOKI, SHIMOTORI SEIICHI, NAKANO KAZUYUKI, SAKAI TOSHIHIRO, MATSUMOTO KENJI, NINOMIYA EISAKU, KUMAMOTO JIN
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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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