초록 ▼

본 발명은 기판 검사 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 기판 검사 장치는 검사모듈을 포함하는 기판 검사 장치에 있어서, 플레이트; 상기 플레이트에 결합되며, 상기 검사모듈을 Y축 방향으로 이동시키도록 설치되는 제1이동모듈; 상기 플레이트에 결합되며, 상기 검사모듈을 Z축 방향으로 이동시키도록 설치되고, 상기 검사모듈의 Y축 방향으로 이동시 동일한 방향으로 연동하여 이동하도록 설치되는 제2이동모듈;을 포함하여, X축, Y축 및 Z축 방향으로의 구동이 단일 구동부의 구동에 의해 이동이 가능하여 정밀한 이동 제어가 가능하며, X축,

본 발명은 기판 검사 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 기판 검사 장치는 검사모듈을 포함하는 기판 검사 장치에 있어서, 플레이트; 상기 플레이트에 결합되며, 상기 검사모듈을 Y축 방향으로 이동시키도록 설치되는 제1이동모듈; 상기 플레이트에 결합되며, 상기 검사모듈을 Z축 방향으로 이동시키도록 설치되고, 상기 검사모듈의 Y축 방향으로 이동시 동일한 방향으로 연동하여 이동하도록 설치되는 제2이동모듈;을 포함하여, X축, Y축 및 Z축 방향으로의 구동이 단일 구동부의 구동에 의해 이동이 가능하여 정밀한 이동 제어가 가능하며, X축, Y축 및 Z축 방향의 각 구동부를 개별적 또는 동시에 제어 가능하여 검사모듈이 검사 위치로 신속하게 이동 가능한 기판 검사 장치가 제공된다.

대표청구항 ▼

검사모듈을 포함하는 기판 검사 장치에 있어서,플레이트;상기 플레이트에 결합되며, 상기 검사모듈을 Y축 방향으로 이동시키도록 설치되는 제1이동모듈;상기 플레이트에 결합되며, 상기 검사모듈을 Z축 방향으로 이동시키도록 설치되고, 상기 검사모듈의 Y축 방향으로 이동시 동일한 방향으로 연동하여 이동하도록 설치되는 제2이동모듈;상기 플레이트에 결합되며, 중앙부를 중심으로 양측 가장자리 방향으로 하향 경사진 제1경사면과 제2경사면이 형성된 베이스블럭을 포함하는 베이스모듈을 포함하며,상기 제1이동모듈은,모터와, 상기 베이스블럭의 중앙부에 축방향

검사모듈을 포함하는 기판 검사 장치에 있어서,플레이트;상기 플레이트에 결합되며, 상기 검사모듈을 Y축 방향으로 이동시키도록 설치되는 제1이동모듈;상기 플레이트에 결합되며, 상기 검사모듈을 Z축 방향으로 이동시키도록 설치되고, 상기 검사모듈의 Y축 방향으로 이동시 동일한 방향으로 연동하여 이동하도록 설치되는 제2이동모듈;상기 플레이트에 결합되며, 중앙부를 중심으로 양측 가장자리 방향으로 하향 경사진 제1경사면과 제2경사면이 형성된 베이스블럭을 포함하는 베이스모듈을 포함하며,상기 제1이동모듈은,모터와, 상기 베이스블럭의 중앙부에 축방향이 Z축 방향으로 위치하도록 배치되는 스크류와, 상기 스크류의 회전에 따라 이동하며 서로 가까워지도록 이동하거나 서로 멀어지도록 이동하는 제1이동부재 및 제2이동부재를 포함하는 제1구동부;일 측은 상기 제1이동부재와 결합되고, 타 측은 상기 베이스블럭의 제1경사면을 따라 이동하도록 결합되는 제1경사부; 및,일 측은 상기 제2이동부재와 결합되고, 타 측은 상기 베이스블럭의 제2경사면을 따라 이동하도록 결합되는 제2경사부를 포함하며,상기 제1구동부의 스크류는,상기 모터에 의해 회전하도록 설치되는 제1스크류;상기 제1스크류와 동일한 축방향을 가지도록 연결되는 제2스크류; 및,상기 제1스크류와 상기 제2스크류의 사이에 개재되어 상기 제1스크류와 상기 제2스크류의 회전방향이 서로 반대방향이 되도록 회전방향을 변환하는 방향변환부재를 포함하는 기판 검사 장치.