최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2012-0003497 (2012-01-11) | |
공개번호 | 10-2013-0082334 (2013-07-19) | |
등록번호 | 10-1843042-0000 (2018-03-22) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120003497 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2016-07-25) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
헬륨 이온 현미경(helium ion microscopy, HIM)을 이용하여, 반도체 기판 상에 형성되어 있는 패턴을 3차원적인 입체 정보로 얻을 수 있는 반도체 기판 검사 장비를 제공하는 것이다. 상기 반도체 기판 검사 장비는 헬륨 가스를 담아두는 가스 용기, 상기 가스 용기 내에 위치하고, 상기 헬륨 가스를 헬륨 이온으로 변환시키는 헬륨 이온 발생부, 상기 가스 용기 아래에 위치하고, 피검사 기판이 놓이는 웨이퍼 스테이지, 상기 웨이퍼 스테이지 상에 위치하고, 상기 피검사 기판으로부터 발생되는 전자를 검출하는 이차 전자 검출기
헬륨 가스를 담아두는 가스 용기;상기 가스 용기 내에 위치하고, 상기 헬륨 가스를 헬륨 이온으로 변환시키는 헬륨 이온 발생부;상기 가스 용기 아래에 위치하고, 피검사 기판이 놓이는 웨이퍼 스테이지;상기 웨이퍼 스테이지 상에 위치하고, 상기 피검사 기판으로부터 발생되는 전자를 검출하는 이차 전자 검출기;연속적인 질소 공급 장치로부터 제1 기체 질소를 공급받아 액체 질소로 압축하는 압축기; 상기 압축기와 연결되어 상기 액체 질소를 저장하는 액체 질소 듀워(Dewar); 및상기 액체 질소 듀워로부터 공급받은 상기 액체 질소를 제2 기체
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.