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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0036188 (2016-03-25) | |
등록번호 | 10-1720570-0000 (2017-03-22) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160036188 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-03-25) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
본 발명의 일 측면은 가스센서 어레이와 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다양한 종류의 가스를 검출하기 위한 반도체식 마이크로 가스센서 어레이와 그 제조방법에 관한 것이다.본 발명의 일 실시예는 실리콘 기판 위에 마이크로 가공공정(Micromachining) 기술로 형성된 공중 부유형 가스센서 어레이로서 전기수력학 프린팅으로 감지물질을 코팅하는 방식으로 제작되는 가스센서 어레이 및 그 제작방법을 제공함에 있다.
테두리부와 상기 테두리부 내측에 중공부를 가지는 서브스트레이트;상기 서브스트레이트의 상기 테두리부의 상면과 상기 중공부에 형성되는 제1 절연막;상기 제1 절연막의 상면 중앙에 형성되되, 링부와 상기 링부를 둘러싸는 둘레부로 구성되는 감지부와 상기 감지부와 전기적으로 연결되는 한 쌍의 센서 전극부를 가지는 센서 전극 패턴;상기 제1 절연막의 상기 센서 전극 패턴과 동일 평면상에 형성되며, 상기 감지부를 가열하도록 상기 감지부를 둘러싸며 형성되는 가열부와 상기 가열부와 전기적으로 연결되는 한 쌍의 히터 전극부를 가지는 전열 전극 패턴;
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