초록

본 발명은 반도체 테스트용 러버 소켓을 낮은 비용으로 제작하며, 도전성 폴의 정렬을 정밀하고 간편하게 수행할 수 있는 반도체 테스트용 러버 소켓에 관한 것이다.특히, 본 발명은 반도체 테스트용 러버 소켓의 도전성 폴에서 액상 절연체에 대한 도전성 파우더의 부피비 내지 비투자율을 상하부 상이하게 적용함에 따라 도전성 폴을 정렬시킬 때 종래기술에서 도전성 폴들 간의 척력 및 하판 자석의 자기력에 의해 도전성 폴의 상부가 휘는 현상을 방지할 수 있는 반도체 테스트용 러버 소켓에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

피검사 디바이스인 반도체 패키지와 반도체 검사장비를 전기적으로 연결하기 위한 반도체 테스트용 러버 소켓으로서,바 형태의 약자성형 도전기둥부(110)와, 상기 약자성형 도전기둥부의 상단부에 연결되는 박막 형태의 강자성형 상부 도전박막부(120)와, 상기 강자성형 상부 도전박막부와 상호 대칭되도록 상기 약자성형 도전기둥부의 하단부에 연결되는 박막 형태의 강자성형 하부 도전박막부(130)를 구비하는 다수의 도전성 폴(100);외력에 소정 탄성을 갖는 전기적인 절연체로서 다수의 상기 도전성 폴이 끼워질 수 있도록 상하방향으로 관통하는 다수

피검사 디바이스인 반도체 패키지와 반도체 검사장비를 전기적으로 연결하기 위한 반도체 테스트용 러버 소켓으로서,바 형태의 약자성형 도전기둥부(110)와, 상기 약자성형 도전기둥부의 상단부에 연결되는 박막 형태의 강자성형 상부 도전박막부(120)와, 상기 강자성형 상부 도전박막부와 상호 대칭되도록 상기 약자성형 도전기둥부의 하단부에 연결되는 박막 형태의 강자성형 하부 도전박막부(130)를 구비하는 다수의 도전성 폴(100);외력에 소정 탄성을 갖는 전기적인 절연체로서 다수의 상기 도전성 폴이 끼워질 수 있도록 상하방향으로 관통하는 다수의 관통공이 형성되며, 상기 관통공의 내벽이 상기 도전성 폴의 외벽을 감싸는 형태로 상기 도전성 폴을 그립하도록 하는 절연 블록(300);상기 절연 블록의 하면에 부착되고 상기 관통공과 연통하는 개구공이 형성되어 상기 도전성 폴의 하면이 하방향으로 노출되게 상기 도전성 폴의 하부가 상기 개구공에 끼워지도록 하는 절연 시트(400);상기 절연 블록의 테두리 영역과 상기 절연 시트 사이에 끼워지고 상기 절연 블록의 외측벽으로 돌출되어 상기 반도체 검사장비와의 연결을 인터페이스하는 조인트 프레임(500);을 포함하여 구성되는 반도체 테스트용 러버 소켓.