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연합인증

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[한국특허] 에칭 챔버들 내의 폴리머 컴포넌트들의 수명을 연장시키기 위한 플라즈마-내성 원자층 증착 코팅들의 사용
USE OF PLASMA-RESISTANT ATOMIC LAYER DEPOSITION COATINGS TO EXTEND THE LIFETIME OF POLYMER COMPONENTS IN ETCH CHAMBERS 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/02
  • H01L-021/3065
  • H01L-021/56
  • H01L-021/683
출원번호 10-2016-0076320 (2016-06-20)
공개번호 10-2017-0001603 (2017-01-04)
우선권정보 미국(US) 14/750,714 (2015-06-25)
DOI http://doi.org/10.8080/1020160076320
발명자 / 주소
  • 슈 린 / 미국, 텍사스 *****, 케이티, 벨로우스 벤드 드라이브 *****
  • 앤더슨 나쉬 더블유. / 미국, 캘리포니아 *****, 마운틴 뷰, 어호른 애비뉴 유닛 *, ***
  • 더허티 존 / 미국, 캘리포니아 *****, 프리몬트, 블랙풋 드라이브 ****
  • 스티븐슨 토마스 알. / 미국, 캘리포니아 *****, 모건 힐, 오크 뷰 서클 *****
  • 커른스 존 마이클 / 미국, 캘리포니아 *****, 리버모어, 알덴 레인 **
출원인 / 주소
  • 램 리써치 코포레이션 / 미국 ***** 캘리포니아주 프레몬트 쿠싱 파크웨이 ****
대리인 / 주소
  • 특허법인인벤투스
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록

이 개시에 따르면, 플라즈마 프로세싱 챔버 내에서 사용되는 폴리머 재료들 상에 플라즈마 내성 코팅들을 증착하기 위한 장치 및 방법을 포함한, 몇몇의 발명들이 제공된다.특정한 예에서, 이러한 코팅은 정전 척의 일부분 상에 행해질 수도 있고, 여기서 폴리머 재료는 척 베이스와 세라믹 상단 플레이트 사이의 접착제를 둘러싸는 비드이다.

대표청구항

플라즈마 프로세싱 챔버를 위한 정전 척에 있어서,알루미늄 또는 알루미늄 합금을 포함한 베이스;상기 베이스에 본딩되고 (bonded), 웨이퍼를 홀딩하기 위한 세라믹 상단 플레이트;적어도 하나의 노출된 부분을 가진, 상기 베이스와 상기 세라믹 상단 플레이트 사이의 폴리머 재료; 및상기 적어도 하나의 노출된 부분 상의 플라즈마 내성 원자층 증착 코팅을 포함하는, 플라즈마 프로세싱 챔버를 위한 정전 척.

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