초록 ▼

[해결하려고 하는 과제] 헤드 본체의 에어 흡인구 및 그 주위의 이물질을 간단하고 또한 신속하게 제거하는 청소 기능을 가지고, 기판 품질의 향상과 함께 제조 비용의 저감을 실현하는 클리닝 헤드, 및 청소 방법을 제공한다. [해결 수단] 헤드 본체(10)에 장착되는 유도 지지부(21)에 의해 유도 지지되고, 에어 흡인구(12)의 길이 방향과 상대적으로 또한 대략 평행하게 이동하는 이동부(22)와, 이 이동부(22)와 함께 이동하고, 에어 흡인구(12) 및 그 주위의 이물질을 접촉 제거하는 이물질 제거부(23)를 포함하는 클리닝 헤드(

[해결하려고 하는 과제] 헤드 본체의 에어 흡인구 및 그 주위의 이물질을 간단하고 또한 신속하게 제거하는 청소 기능을 가지고, 기판 품질의 향상과 함께 제조 비용의 저감을 실현하는 클리닝 헤드, 및 청소 방법을 제공한다. [해결 수단] 헤드 본체(10)에 장착되는 유도 지지부(21)에 의해 유도 지지되고, 에어 흡인구(12)의 길이 방향과 상대적으로 또한 대략 평행하게 이동하는 이동부(22)와, 이 이동부(22)와 함께 이동하고, 에어 흡인구(12) 및 그 주위의 이물질을 접촉 제거하는 이물질 제거부(23)를 포함하는 클리닝 헤드(100)다.

대표청구항

긴 구멍의 에어 흡인구가 길이 방향으로 형성된 헤드 본체와, 상기 헤드 본체의 에어 흡인구 및 그 주위를 청소하는 청소 장치를 탑재하는 클리닝 헤드로서, 상기 청소 장치는, 상기 헤드 본체에 장착되는 유도 지지부; 상기 유도 지지부에 의해 유도 지지되고, 상기 에어 흡인구의 길이 방향과 상대적으로 또한 평행하게 이동하는 이동부; 및상기 이동부와 함께 이동하고, 상기 에어 흡인구 및 그 주위의 이물질을 접촉 제거하는 이물질 제거부를 포함하는, 클리닝 헤드.

긴 구멍의 에어 흡인구가 길이 방향으로 형성된 헤드 본체와, 상기 헤드 본체의 에어 흡인구 및 그 주위를 청소하는 청소 장치를 탑재하는 클리닝 헤드로서, 상기 청소 장치는, 상기 헤드 본체에 장착되는 유도 지지부; 상기 유도 지지부에 의해 유도 지지되고, 상기 에어 흡인구의 길이 방향과 상대적으로 또한 평행하게 이동하는 이동부; 및상기 이동부와 함께 이동하고, 상기 에어 흡인구 및 그 주위의 이물질을 접촉 제거하는 이물질 제거부를 포함하는, 클리닝 헤드.