초록 ▼

<과제> 필름 형상의 매엽체라도 안정적으로 이물질 제거가 가능하게 되는 이물질 제거 장치를 제공하는 것이다.<해결 수단> 분출 슬릿(112)을 가지는 클리닝 헤드(10)를 구비하고, 분출 슬릿(112)으로부터 소정의 동작 유속으로 분출되는 유체를 매엽체 W의 표면에 내뿜어 당해 매엽체 W의 표면으로부터 이물질을 제거하는 이물질 제거 장치로서, 분출 슬릿(112)으로부터의 유체의 유속이 상기 동작 유속보다 작은 상태에서, 클리닝 헤드(10)를 소정의 동작 위치에 세트하는 헤드 세트 기구(20, 30a, 30b)와

<과제> 필름 형상의 매엽체라도 안정적으로 이물질 제거가 가능하게 되는 이물질 제거 장치를 제공하는 것이다.<해결 수단> 분출 슬릿(112)을 가지는 클리닝 헤드(10)를 구비하고, 분출 슬릿(112)으로부터 소정의 동작 유속으로 분출되는 유체를 매엽체 W의 표면에 내뿜어 당해 매엽체 W의 표면으로부터 이물질을 제거하는 이물질 제거 장치로서, 분출 슬릿(112)으로부터의 유체의 유속이 상기 동작 유속보다 작은 상태에서, 클리닝 헤드(10)를 소정의 동작 위치에 세트하는 헤드 세트 기구(20, 30a, 30b)와, 클리닝 헤드(10)가 상기 동작 위치에 세트된 후, 분출 슬릿(112)으로부터 유체를 상기 동작 유속으로 분출하게 한 상태에서, 클리닝 헤드(10)를 매엽체 W의 표면에 대향시킨 상태를 유지시키면서, 클리닝 헤드(10)와 매엽체 W를 상대적으로 회전시키는 회전 기구(21)를 가지는 구성으로 된다.

대표청구항 ▼

유체를 분출하는 소정 길이의 분출 슬릿을 가지는 클리닝 헤드를 구비하고, 이 클리닝 헤드와 매엽체를 상대적으로 이동시키면서, 상기 분출 슬릿으로부터 소정의 동작 유속으로 분출되는 유체를 상기 매엽체의 표면에 내뿜어 당해 매엽체의 표면으로부터 이물질을 제거하는 이물질 제거 장치로서,상기 분출 슬릿으로부터 분출하는 유체의 유속이 상기 동작 유속보다 작은 상태에서, 상기 클리닝 헤드를 상기 매엽체의 표면에 대향하는 소정의 동작 위치에 세트하는 헤드 세트 기구와,상기 클리닝 헤드가 상기 동작 위치에 세트된 후, 상기 분출 슬릿으로부터 유체

유체를 분출하는 소정 길이의 분출 슬릿을 가지는 클리닝 헤드를 구비하고, 이 클리닝 헤드와 매엽체를 상대적으로 이동시키면서, 상기 분출 슬릿으로부터 소정의 동작 유속으로 분출되는 유체를 상기 매엽체의 표면에 내뿜어 당해 매엽체의 표면으로부터 이물질을 제거하는 이물질 제거 장치로서,상기 분출 슬릿으로부터 분출하는 유체의 유속이 상기 동작 유속보다 작은 상태에서, 상기 클리닝 헤드를 상기 매엽체의 표면에 대향하는 소정의 동작 위치에 세트하는 헤드 세트 기구와,상기 클리닝 헤드가 상기 동작 위치에 세트된 후, 상기 분출 슬릿으로부터 유체를 상기 동작 유속으로 분출하게 한 상태에서, 상기 클리닝 헤드를 상기 매엽체의 표면에 대향시킨 상태를 유지시키면서, 상기 클리닝 헤드와 상기 매엽체를 상대적으로 회전시키는 회전 기구를 가지는 이물질 제거 장치.