초록 ▼

본 발명의 과제는 물을 기피하는 워크라도 물과의 접촉을 최소한으로 할 수 있고, 또한 초음파 검사에서 양호한 화상을 얻을 수 있는 것이다.초음파를 워크 w에 조사하고, 그 반사파를 수신하는 초음파 탐촉자(21)와, 워크 w에 대해 초음파 탐촉자(21)를 수평 방향으로 주사하도록 동작시키는 X축 구동 장치(25) 및 Y축 구동 장치(26)와, 초음파 탐촉자(21)를 워크 w에 대해 승강시키는 Z축 구동 장치(27)와, 초음파 탐촉자(21)에 설치되어, 초음파 탐촉자(21)의 프로브 선단부(211)와 워크 w 사이에 소정량으로 한정한

본 발명의 과제는 물을 기피하는 워크라도 물과의 접촉을 최소한으로 할 수 있고, 또한 초음파 검사에서 양호한 화상을 얻을 수 있는 것이다.초음파를 워크 w에 조사하고, 그 반사파를 수신하는 초음파 탐촉자(21)와, 워크 w에 대해 초음파 탐촉자(21)를 수평 방향으로 주사하도록 동작시키는 X축 구동 장치(25) 및 Y축 구동 장치(26)와, 초음파 탐촉자(21)를 워크 w에 대해 승강시키는 Z축 구동 장치(27)와, 초음파 탐촉자(21)에 설치되어, 초음파 탐촉자(21)의 프로브 선단부(211)와 워크 w 사이에 소정량으로 한정한 물 a를 공급하는 급수부(22)와, 초음파 탐촉자(21)에 설치되어, 급수부(22)에서 급수 후의 물 a를 흡수하는 흡수부(23)를 구비한다.

대표청구항 ▼

초음파를 복수의 칩을 구비하는 워크에 조사하고, 그 반사파를 수신하는 초음파 탐촉자와,상기 워크에 대해 상기 초음파 탐촉자를 수평 방향으로 주사하도록 동작시키는 주사 장치와,상기 초음파 탐촉자를 상기 워크에 대해 승강시키는 제1 승강 장치와,상기 초음파 탐촉자의 측부에 설치되어, 상기 초음파 탐촉자의 오목 렌즈 형상을 한 프로브 선단부를 상기 워크의 검사 대상이 되는 칩의 소정의 위치의 바로 위로 이동한 후, 상기 프로브와 상기 워크 사이를 메우도록, 상기 프로브 선단부와 상기 워크에 표면 장력에 의해 밀착된 상태로 유지 가능한 최

초음파를 복수의 칩을 구비하는 워크에 조사하고, 그 반사파를 수신하는 초음파 탐촉자와,상기 워크에 대해 상기 초음파 탐촉자를 수평 방향으로 주사하도록 동작시키는 주사 장치와,상기 초음파 탐촉자를 상기 워크에 대해 승강시키는 제1 승강 장치와,상기 초음파 탐촉자의 측부에 설치되어, 상기 초음파 탐촉자의 오목 렌즈 형상을 한 프로브 선단부를 상기 워크의 검사 대상이 되는 칩의 소정의 위치의 바로 위로 이동한 후, 상기 프로브와 상기 워크 사이를 메우도록, 상기 프로브 선단부와 상기 워크에 표면 장력에 의해 밀착된 상태로 유지 가능한 최저한의 소정량으로, 상기 검사 대상이 되는 칩의 범위로 한정한 물을 공급하는 급수부와,상기 초음파 탐촉자의 측부에 설치되어, 상기 급수부에서 급수 후의 물을 흡수하는 흡수부를 구비하는 것을 특징으로 하는 초음파 검사 장치.