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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0114854 (2016-09-07) | |
등록번호 | 10-1823083-0000 (2018-01-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160114854 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-09-07) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 표면개질된 콜로이달 세리아 연마입자, 그의 제조방법 및 그를 포함하는 연마 슬러리 조성물에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 표면개질된 콜로이달 세리아 연마입자는, 콜로이달 세리아 연마입자; 및 상기 콜로이달 세리아 연마입자 표면 상에 형성된 세륨 원소 및 수산화기(-OH);를 포함한다.
콜로이달 세리아 연마입자; 및상기 콜로이달 세리아 연마입자 표면 상에 형성된 세륨 원소 및 수산화기(-OH); 를 포함하고, 상기 콜로이달 세리아 연마입자 표면 상에 형성된 세륨 원소 및 수산화기(-OH)는 상기 콜로이달 세리아 연마입자 표면에 부분적으로 결합된 것이며,상기 콜로이달 세리아 연마입자의 크기는, 40 nm 내지 250 nm인 단일 사이즈 입자인 것인,표면개질된 콜로이달 세리아 연마입자.
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