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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0119515 (2016-09-19) | |
공개번호 | 10-2018-0031271 (2018-03-28) | |
등록번호 | 10-1859388-0000 (2018-05-14) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160119515 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-09-19) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 이탈 방지 구조를 가지는 수직 프로브 카드에 관한 것으로, 테스트 대상 디바이스와 검사 장치를 상하로 상호 접촉 연결하여 전기적 특성을 측정하는 수직 프로브 카드에 있어서, 상기 테스트 대상 디바이스의 상부 위치에 배치되어 있으며, 상기 테스트 대상 디바이스의 복수로 접촉되는 위치에 연통되도록 관통된 통공 형태의 복수의 하부 가이드 홀을 가지는 하부 플레이트; 상기 하부 플레이트의 상부에 떨어져 배치되어 있으며, 상기 검사 장치의 하부에 상부공극을 가지고, 상기 하부 플레이트의 상부에 하부공극을 가지는 위치에 수평으로 이
테스트 대상 디바이스 전기적 특성을 검사하는 수직 프로브 카드에 있어서,테스트 대상 디바이스의 접촉면에 대비되는 위치에 관통 형성되는 복수의 하부 가이드 홀을 가지는 하부 플레이트;상기 하부 플레이트의 상부에 이격되게 배치되고, 상기 하부 플레이트 상에 형성된 복수의 하부 가이드 홀과 대향되게 관통 형성되는 복수의 상부 가이드 홀을 가지는 상부 플레이트;상기 상부 가이드 홀 및 상기 하부 가이드 홀에 순차적으로 관통 삽입되고 상기 테스트 대상 디바이스에 접촉되어 전기적 신호를 송수신하는 프로브 팁; 및상기 상부 플레이트를 일측 방향
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