초록

1. 기술분야본 발명은 진공챔버의 틈새 세척용 장치에 관한 것으로, 상세하게는, 다양한 반도체 장치의 증착공정이 이루어지는 진공챔버의 틈새(이음새) 부위에 흡착되어 잔존하는 케미컬 오염물을 흡입하여 제거하는 진공챔버의 틈새 세척용 장치에 관한 것이다. 2. 구성 및 효과본 발명은 고압을 분사하여 세척하는 고압 분사 방식이 아닌, 진공펌프를 이용한 흡입 방식으로 진공챔버의 틈새 부위에 흡착된 케미컬 오염물을 집진탱크로 흡입하여 제거함으로써 진공챔버의 틈새 부위에 흡착된 케미컬 오염물을 효과적으로 제거할 수 있다.

대표청구항 ▼

'ㅁ'자 또는 'ㅂ'자 형상으로 이루어진 수평 프레임(111)이 구비되고, 수평 프레임(111)의 상부에 수직방향 '∩'자 형상으로 설치되는 한 쌍의 수직 프레임(112)이 구비되며, 수평 프레임(111)의 하부에 설치되어 수평 프레임(111)을 이동시키는 캐리어(113)가 구비된 받침대(11);상기 받침대(11)의 수직 프레임(112) 상부에 설치된 집진탱크(12);상기 받침대(11)의 수평 프레임(111) 상부에 설치되고, 연결호스(15)가 상기 집진탱크(12)에 연결되어 작동시 집진탱크(12)의 내부 공기를 흡입하여 진공상태를

'ㅁ'자 또는 'ㅂ'자 형상으로 이루어진 수평 프레임(111)이 구비되고, 수평 프레임(111)의 상부에 수직방향 '∩'자 형상으로 설치되는 한 쌍의 수직 프레임(112)이 구비되며, 수평 프레임(111)의 하부에 설치되어 수평 프레임(111)을 이동시키는 캐리어(113)가 구비된 받침대(11);상기 받침대(11)의 수직 프레임(112) 상부에 설치된 집진탱크(12);상기 받침대(11)의 수평 프레임(111) 상부에 설치되고, 연결호스(15)가 상기 집진탱크(12)에 연결되어 작동시 집진탱크(12)의 내부 공기를 흡입하여 진공상태를 유지시키는 진공펌프(13);상기 집진탱크(12)와 연결된 흡입관(16);상기 흡입관(16)과 연결된 복수 개의 흡입호스(h1, h2, h3, h4);상기 복수 개의 흡입호스(h1, h2, h3, h4)의 후단에 각각 착탈가능하게 결합되고, 밀착되는 진공챔버의 틈새 부위의 구조 및 형상에 대응되도록 흡착면이 평평한 제1 흡입패드(17)가 구비되고, 흡착면이 삼각형 구조로 이루어진 제2 흡입패드가(17') 구비되며, 흡착면이 원뿔 또는 다각뿔 구조로 이루어진 제3 흡입패드(17")가 구비된 흡입패드;손으로 쉽게 파지할 수 있도록 '∩'자 형상으로 받침대(11)의 수평프레임(110) 상부로부터 수직방향으로 설치되며, 일정한 강성을 갖고, 내부가 빈 금속 파이프로 이루어져 일측부에 흡입관(16)이 연결되고, 타측부에는 복수 개의 흡입호스(h1~h4)가 각각 연결되어 흡입관(16)과 상기 복수 개의 흡입호스(h1~h4)를 상호 연통시키는 분기 파이프(14)를 포함하되,상기 복수 개의 흡입패드(17, 17', 17")는상기 복수 개의 흡입호스(h1~h4)의 후단에 각각 결합된 하우징(171, 171', 171"); 및상기 하우징(171, 171', 171")의 전면부에 결합되어 상기 진공챔버의 틈새 부위에 밀착되고, 상기 진공챔버의 틈새 부위에 흡착된 케미컬 오염물이 흡입되는 흡입공(17a, 17a', 17a")이 형성된 흡착판(172, 172', 172")을 포함하고,상기 복수 개의 흡입호스(h1~h4)는 전단과 후단에 각각 밸브(v2, v3)가 설치된 것을 특징으로 하는 진공챔버의 틈새 세척용 장치.