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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-2014-0006841 (2014-09-19) | |
등록번호 | 20-0475173-0000 (2014-11-04) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/2020140006841 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2014-09-19) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 고안은 유기발광다이오드의 제조에 이용되는 진공챔버의 홀 세척에 적합한 유기발광다이오드 제조용 진공 챔버의 홀 세척장치를 개시한다. 개시된 본 고안에 따른 유기발광다이오드 제조용 진공챔버의 홀 세척 장치는, 제어부를 포함하는 본체와, 상기 본체에 일단이 연결된 분사 건과, 상기 분사 건에 연결되어 상기 분사 건 내에 세척액을 공급하는 세척액 공급유닛과, 상기 분사 건의 일단에 대향하는 타단에 결합된 노즐과, 상기 분사 건의 타단 부위에 설치되어 상기 노즐로부터 분사되는 세척액의 비산을 차단하는 흡인 커버(suction cover)
유기발광다이오드의 유기물층 증착시에 이용되는 진공챔버의 홀을 세척하기 위한 유기발광다이오드 제조용 진공챔버의 홀 세척 장치로서, 제어부를 포함하는 본체; 상기 본체에 일단이 연결된 분사 건; 상기 분사 건에 연결되어 상기 분사 건 내에 세척액을 공급하는 세척액 공급유닛; 상기 분사 건의 일단에 대향하는 타단에 결합된 노즐; 상기 분사 건의 타단 부위에 설치되어 상기 노즐로부터 분사되는 세척액의 비산을 차단하는 흡인 커버(suction cover); 및 상기 흡인 커버의 외측으로부터 그 내측까지 연장 설치된 흡인 관을 포함하는 흡인
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