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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2016-0143766 (2016-10-31) | |
| 공개번호 | 10-2018-0047555 (2018-05-10) | |
| 등록번호 | 10-1887106-0000 (2018-08-03) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020160143766 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2016-10-31) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
초소형 인덕터 및 이의 제조 방법이 개시된다. 본 발명의 멤스(MEMS) 기반의 인덕터의 제조 방법은 감광성 유리 기판을 마련하는 단계, 상기 유리 기판을 부분 식각하여 코일 영역 및 코어 영역을 형성하는 단계, 상기 코일 영역에 금속재를 채워 코일을 형성하는 단계, 상기 코어 영역이 형성된 감광성 유리 기판과 결합될 수 있는 형태의 자성체 기판을 마련하는 단계, 및 상기 코어 영역이 형성된 감광성 유리 기판의 전면에 상기 자성체 기판을 결합하는 단계를 포함하며, 상기 코일은 상기 자성체 코어를 중심으로 권선을 형성한다.
감광성 유리 기판을 마련하는 단계;상기 유리 기판을 마스크 패턴에 따라 복수의 코일들 및 코어가 형성될 영역과 나머지 영역을 구분하여 선택적으로 광원을 조사하고 열처리하는 단계;상기 복수의 코일들 및 코어가 형성될 영역을 소정 깊이만큼 식각하여 복수의 코일 영역 및 코어 영역을 함께 형성하는 단계;상기 복수의 코일 영역에 금속재를 채워 상기 복수의 코일들을 형성하는 단계;상기 코어 영역이 형성된 감광성 유리 기판과 결합될 수 있는 형태의 자성체 기판을 마련하는 단계; 및상기 코어 영역에 상기 자성체 기판의 일부인 자성체 코어가 결합
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