초록 ▼

본 발명의 일실시 예는 발열체와 저항체로서 탄소나노튜브를 사용하므로 종래의 열대류형 센서에 비해 전력소모량을 현저하게 낮출 수 있는 열대류형 기울기 및 가속도 센서와 이의 제조방법을 제공한다. 본 발명의 실시 예에 따른 탄소나노튜브를 이용한 열대류형 기울기 및 가속도 센서는, 밀폐 공간에 위치하고 열을 발생시키는 발열체를 구비하는 발열부; 밀폐 공간 내에서 발열부의 좌측에 이격되어 위치하고, 온도에 따라 전기 저항이 변하는 제1저항체를 구비하여 온도를 감지하는 제1온도감지부; 및 밀폐 공간 내에서 발열부의 우측에 이격되어 위치하고,

본 발명의 일실시 예는 발열체와 저항체로서 탄소나노튜브를 사용하므로 종래의 열대류형 센서에 비해 전력소모량을 현저하게 낮출 수 있는 열대류형 기울기 및 가속도 센서와 이의 제조방법을 제공한다. 본 발명의 실시 예에 따른 탄소나노튜브를 이용한 열대류형 기울기 및 가속도 센서는, 밀폐 공간에 위치하고 열을 발생시키는 발열체를 구비하는 발열부; 밀폐 공간 내에서 발열부의 좌측에 이격되어 위치하고, 온도에 따라 전기 저항이 변하는 제1저항체를 구비하여 온도를 감지하는 제1온도감지부; 및 밀폐 공간 내에서 발열부의 우측에 이격되어 위치하고, 온도에 따라 전기 저항이 변하는 제2저항체를 구비하여 온도를 감지하는 제2온도감지부;를 포함한다.

대표청구항 ▼

기판;상기 기판의 상면에 설치되어 밀폐 공간을 형성하는 덮개;상기 밀폐 공간에 위치하여 열을 발생시키며 스피닝이 가능한 탄소나노튜브로 형성된 탄소나노튜브 방적사를 구비한 발열체와, 상기 발열체 양단 각각에 형성되는 발열체 연결단자를 포함하는 발열부;상기 밀폐 공간 내에서 상기 발열부의 좌측에 이격되어 위치하여 온도에 따라 전기 저항이 변하며 스피닝이 가능한 탄소나노튜브로 형성된 상기 탄소나노튜브 방적사를 구비한 제1저항체와, 상기 제1저항체 양단 각각에 형성되는 제1저항체 연결단자를 포함하여 온도를 감지하는 제1온도감지부; 및상기

기판;상기 기판의 상면에 설치되어 밀폐 공간을 형성하는 덮개;상기 밀폐 공간에 위치하여 열을 발생시키며 스피닝이 가능한 탄소나노튜브로 형성된 탄소나노튜브 방적사를 구비한 발열체와, 상기 발열체 양단 각각에 형성되는 발열체 연결단자를 포함하는 발열부;상기 밀폐 공간 내에서 상기 발열부의 좌측에 이격되어 위치하여 온도에 따라 전기 저항이 변하며 스피닝이 가능한 탄소나노튜브로 형성된 상기 탄소나노튜브 방적사를 구비한 제1저항체와, 상기 제1저항체 양단 각각에 형성되는 제1저항체 연결단자를 포함하여 온도를 감지하는 제1온도감지부; 및상기 밀폐 공간 내에서 상기 발열부의 우측에 이격되어 위치하여 온도에 따라 전기 저항이 변하며 스피닝이 가능한 탄소나노튜브로 형성된 상기 탄소나노튜브 방적사를 구비한 제2저항체와, 상기 제2저항체 양단 각각에 형성되는 제2저항체 연결단자를 포함하여 온도를 감지하는 제2온도감지부;를 포함하고,상기 발열부, 상기 제1온도감지부 및 상기 제2온도감지부는 상기 기판의 상면에 형성되고, 상기 발열체, 상기 제1저항체 및 상기 제2저항체는 나란하도록 배치되며, 상기 탄소나노튜브는 비정질 산화물층, 산화알루미늄층 및 철(Fe)로 형성되는 촉매층이 순차적으로 적층된 베이스기재를 이용하여 형성되고,상기 촉매층의 두께는 1.5nm 내지 7nm이며,상기 산화알루미늄층은, 상기 비정질 산화물층의 위에 1 내지 5나노미터(nm)의 두께로 형성되고,상기 촉매층에 형성되는 파티클의 크기는 8 내지 22나노미터(nm)인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 열대류형 기울기 및 가속도 센서.