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연합인증

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산 배기가스 제거를 위한 반응흡착제 및 반응흡착제 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • B01J-020/30
  • B01D-053/02
  • B01D-053/40
  • B01J-020/02
  • B01J-020/08
  • B01J-020/10
  • B01J-020/16
출원번호 10-2016-0167227 (2016-12-09)
공개번호 10-2018-0066907 (2018-06-20)
DOI http://doi.org/10.8080/1020160167227
발명자 / 주소
  • 문영환 / 경기 안성시 서운면 인처동길 **-**
  • 김종산 / 경기 안성시 서운면 인처동길 **-**
  • 정헌 / 충남 천안시 서북구 시청로 **, ***동 ***호 (불당동, 동일하이빌)
  • 노정호 / 경기도 화성시 반송동 탄요*길 **-* 동탄세인트캐슬타운하우스 ***-***
  • 유승우 / 경기도 오산시 박동길 * ***동 ****호 (수청동,삼익아파트)
  • 박은서 / 충남 천안시 서북구 두정상가*길 **, ***호 (더리치빌 *차)
출원인 / 주소
  • 코아텍주식회사 / 경기도 평택시 산단로 **-** (모곡동)
대리인 / 주소
  • 김윤배; 이상목
심사청구여부 있음 (2016-12-09)
심사진행상태 거절결정(재심사)
법적상태 거절

초록

본 발명은 화학공정에서 발생되는 산성가스 또는 반도체 제조 공정 중 etching 공정에서 배출되는 산 배기가스 (AlCl3, BCl3, Cl2, HCl, HF) 등을 제거를 위해 유용하게 사용될 수 있다. 본 흡착제는 Ni/Cu/Zn 수산화물, 탄산암모늄, 수산화알루미늄 그리고 규조토 등으로 구성되어 있다. 산 배기가스 제거용 흡착제의 양산 및 제품화를 위해 다양한 성형 방법을 설계 하였으며 검토 결과 1.0 ~ 5.0 mm 직경 크기의 흡착 또는 반응의 펠렛 형태의 압출 방법으로 제조할 수 있다. CT-150에 의한 산 배기가스

대표청구항

전이금속산화물 또는 전이금속수산화물이 암모니아 착염물을 형성시켜 압출 성형하여 제조된 산 배기가스 제거를 위한 흡착제

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 반도체 제조 공정 배출 스트림으로부터 독성 가스 성분을감소시키기 위한 방법 및 장치 | 스위니, 조셉, 디., 말간스키, 폴, 제이., 올랜더, 더블유., 칼, 왕,루핑
  2. [일본] MANUFACTURING METHOD OF ADSORBENT | FUJISHIMA HIROSHI, TSURUTA SHUNJI, KOYANAGI TSUGUO
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