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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0170344 (2016-12-14) | |
공개번호 | 10-2018-0068545 (2018-06-22) | |
등록번호 | 10-2608367-0000 (2023-11-27) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160170344 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-12-10) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 과산화수소; 인산 또는 인산염계 화합물; 황산염계 화합물: 불소계 화합물; 킬레이트제; 및 부식방지제를 포함하는 식각액 조성물에 관한 것이다.
과산화수소; 인산 또는 인산염계 화합물; 황산염계 화합물: 불소계 화합물; 킬레이트제; 및 부식방지제를 포함하는 식각액 조성물로서,상기 인산염계 화합물이 제일인산염 화합물을 포함하고,상기 식각액 조성물 100 중량부를 기준으로,상기 과산화수소가 15 내지 25 중량부로 포함되고,상기 인산 또는 인산염계 화합물이 0.05 내지 0.1 중량부로 포함되고,상기 황산염계 화합물이 0.1 내지 0.4 중량부로 포함되고,상기 불소계 화합물이 0.01 내지 1 중량부로 포함되고,상기 킬레이트제가 1 내지 5 중량부로 포함되고,상기 부식방지제가
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