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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2016-0183375 (2016-12-30) | |
| 등록번호 | 10-1866956-0000 (2018-06-05) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020160183375 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2016-12-30) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 폭 방향으로 선형으로 증착입자를 분사하여 상기 기판에 증착을 수행하는 선형 증발원에 사용되는 도가니로서, 상부가 개구되는 증발공간이 형성되며, 상기 증발공간에 증착물질이 충전되며 가열에 따라 증착물질이 증발되어 증착입자가 분출되는 도가니 본체와; 상기 도가니 본체의 상단에 결합되어 상기 증발공간을 커버하며, 상기 증착입자가 분출되는 제1 노즐구와, 상기 제1 노즐구의 양쪽 외측에 각각 형성되며 상기 증착입자가 분출되는 복수의 제2 노즐구가 이격되어 형성되는 노즐커버와; 상기 제1 노즐구에 결합되
일면에 마스크가 배치되는 기판의 폭 방향을 따라 선형으로 증착입자를 분사하여 상기 기판에 증착을 수행하는 선형 증발원에 사용되는 도가니로서,상부가 개구되는 증발공간이 형성되며, 상기 증발공간에 증착물질이 충전되며 가열에 따라 증착물질이 증발되어 증착입자가 분출되는 도가니 본체와;상기 도가니 본체의 상단에 결합되어 상기 증발공간을 커버하며, 상기 기판의 폭의 중앙부에 대향하여 위치하며 상기 증착입자가 분출되는 제1 노즐구와, 횡방향으로 긴 슬릿(slit) 형태로 상기 제1 노즐구의 양쪽 외측에 각각 형성되며 상기 증착입자가 분출되는
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