케이엘에이 코포레이션 / 미합중국, 캘리포니아 *****, 밀피타스, 원 테크놀로지 드라이브
대리인 / 주소
김태홍;
김진회
심사청구여부
있음 (2019-12-18)
심사진행상태
등록결정(일반)
법적상태
등록
초록▼
비접촉 웨이퍼 척킹 장치는, 웨이퍼 척과, 상기 웨이퍼 척의 일부에 연결된 그리퍼 어셈블리를 포함한다.웨이퍼 척은, 웨이퍼 척의 표면 위의 웨이퍼를 상승시키기 위하여 적합한, 웨이퍼 척의 표면을 가로지른 가압 가스 영역들을 생성시키도록 구성된 가압 가스 소자들을 포함한다.웨이퍼 척은, 가압 가스 영역들보다 낮은 압력을 갖는, 웨이퍼 척의 표면을 가로지른 감압 영역들을 생성시키도록 구성된 진공 소자들을 더 포함한다.감압 영역들은, 웨이퍼 척으로의 접촉없이 웨이퍼 척 위의 웨이퍼를 고정시키는 데 적합하다.본 척킹 장치는, 웨이퍼 척을
비접촉 웨이퍼 척킹 장치는, 웨이퍼 척과, 상기 웨이퍼 척의 일부에 연결된 그리퍼 어셈블리를 포함한다.웨이퍼 척은, 웨이퍼 척의 표면 위의 웨이퍼를 상승시키기 위하여 적합한, 웨이퍼 척의 표면을 가로지른 가압 가스 영역들을 생성시키도록 구성된 가압 가스 소자들을 포함한다.웨이퍼 척은, 가압 가스 영역들보다 낮은 압력을 갖는, 웨이퍼 척의 표면을 가로지른 감압 영역들을 생성시키도록 구성된 진공 소자들을 더 포함한다.감압 영역들은, 웨이퍼 척으로의 접촉없이 웨이퍼 척 위의 웨이퍼를 고정시키는 데 적합하다.본 척킹 장치는, 웨이퍼 척을 선택적으로 회전시키도록 구성된 회전 구동 유닛을 포함한다.그리퍼 소자들은, 웨이퍼와 그리퍼 어셈블리가 웨이퍼 척과 동시에 회전하도록, 웨이퍼를 고정시키기 위하여 웨이퍼의 에지 부분에 해제 가능하게 연결 가능하다.
대표청구항▼
웨이퍼의 비접촉 척킹을 위한 장치에 있어서, 웨이퍼 척으로서, 상기 웨이퍼 척은, 상기 웨이퍼 척의 표면 위의 웨이퍼를 상승시키는 데 적합한, 상기 웨이퍼 척의 표면을 가로지른 하나 이상의 가압 가스 영역을 생성시키도록 구성된 하나 이상의 가압 가스 소자를 포함하고, 상기 웨이퍼 척은, 상기 웨이퍼 척의 표면을 가로지른 하나 이상의 감압 영역을 생성시키도록 구성된 하나 이상의 진공 소자를 더 포함하고, 상기 감압 영역은, 상기 가압 가스 영역보다 낮은 압력을 가지며, 상기 하나 이상의 감압 영역은, 상기 웨이퍼 척으로의 접촉없이 상
웨이퍼의 비접촉 척킹을 위한 장치에 있어서, 웨이퍼 척으로서, 상기 웨이퍼 척은, 상기 웨이퍼 척의 표면 위의 웨이퍼를 상승시키는 데 적합한, 상기 웨이퍼 척의 표면을 가로지른 하나 이상의 가압 가스 영역을 생성시키도록 구성된 하나 이상의 가압 가스 소자를 포함하고, 상기 웨이퍼 척은, 상기 웨이퍼 척의 표면을 가로지른 하나 이상의 감압 영역을 생성시키도록 구성된 하나 이상의 진공 소자를 더 포함하고, 상기 감압 영역은, 상기 가압 가스 영역보다 낮은 압력을 가지며, 상기 하나 이상의 감압 영역은, 상기 웨이퍼 척으로의 접촉없이 상기 웨이퍼 척 위의 상기 웨이퍼를 고정시키는 데 적합한 것인, 상기 웨이퍼 척;상기 웨이퍼 척의 일부에 연결된 그리퍼 어셈블리(gripper assembly) - 상기 그리퍼 어셈블리는 복수의 그리퍼 소자들을 포함함 -; 및상기 웨이퍼 척에 기계적으로 연결된 회전 구동 유닛을 포함하고, 상기 회전 구동 유닛은, 상기 웨이퍼 척을 선택적으로 회전시키도록 구성되고, 상기 그리퍼 어셈블리는, 상기 웨이퍼를 고정시키기 위하여 상기 웨이퍼의 하나 이상의 에지 부분과 상기 그리퍼 어셈블리를 선택 가능하게 맞물리도록, 상기 웨이퍼 척의 방사 방향을 따라 상기 그리퍼 소자들 중 하나 이상을 구동시키도록 구성된 캠 유닛(cam unit)을 포함하여, 상기 웨이퍼와 상기 그리퍼 어셈블리가 상기 회전 구동 유닛에 의하여 상기 웨이퍼 척의 회전 동안 상기 웨이퍼 척과 동기하여 회전하는 것이고,상기 가압 가스 소자로부터의 가스는 상기 감압 영역으로 흘러 상기 진공 소자에 의해 배출되는, 웨이퍼의 비접촉 척킹을 위한 장치.
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