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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-7024498 (2016-09-05) | |
공개번호 | 10-2016-0119170 (2016-10-12) | |
등록번호 | 10-2203112-0000 (2021-01-08) | |
우선권정보 | 미국(US) 61/936,330 (2014-02-06);미국(US) 14/612,192 (2015-02-02) | |
국제출원번호 | PCT/US2015/014682 (2015-02-05) | |
국제공개번호 | WO 2015/120193 (2015-08-13) | |
번역문제출일자 | 2016-09-05 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020167024498 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-01-30) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
웨이퍼 상의 검출된 결함들을 분류하기 위한 시스템 및 방법이 제공된다.하나의 방법은 검사 시스템에 의해 웨이퍼를 위해 생성된 출력에 기초해서 웨이퍼 상의 결함들을 검출하는 단계를 포함한다.본 방법은, 결함들 중 적어도 하나의 결함에 대응하는 표준 기준 이미지의 부분들에 기초해서 결함들 중 적어도 하나의 결함을 위한 하나 이상의 속성들을 결정하는 단계를 또한 포함한다.본 방법은 하나 이상의 결정된 속성에 적어도 부분적으로 기초해서 결함들 중 적어도 하나의 결함을 분류하는 단계를 더 포함한다.
웨이퍼 상에서 검출된 결함들을 분류하기 위한 방법에 있어서,검사 시스템에 의해 웨이퍼에 대해 생성된 출력에 기초해서 상기 웨이퍼 상의 결함들을 검출하는 단계 - 상기 결함들을 검출하는 단계는, 상기 웨이퍼 상의 두 개 이상의 다이들에 대해 상기 검사 시스템에 의해 생성된 상기 출력에 기초해서 상기 두 개 이상의 다이들에 대한 출력 내의 대응하는 픽셀들에 대한 중간 강도(median intensity)를 다이 위치 내의 함수로서 결정하는 단계, 상기 웨이퍼 상의 기준 다이에 대한 상기 출력 내의 개별 픽셀의 특성을, 상기 웨이퍼 상의
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