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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0002168 (2017-01-06) | |
공개번호 | 10-2018-0015052 (2018-02-12) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170002168 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
산화성 금속 이온, 유기산 또는 무기산, 소수성 피막 형성 물질로서 글리콜 에테르계 화합물, 및 물을 포함하는 구리 에칭 조성물이 제공된다. 또한 상기 구리에칭 조성물을 이용한구리 배선 형성방법이 제공된다.
산화성 금속 이온;유기산 또는 무기산;소수성 피막 형성 물질로서 글리콜 에테르계 화합물; 및물을 포함하는 구리 에칭 조성물.
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