초록

산화성 금속 이온, 유기산 또는 무기산, 소수성 피막 형성 물질로서 글리콜 에테르계 화합물, 및 물을 포함하는 구리 에칭 조성물이 제공된다. 또한 상기 구리에칭 조성물을 이용한구리 배선 형성방법이 제공된다.

대표청구항 ▼

제2 구리 이온;유기산 또는 무기산;소수성 피막 형성 물질로서 글리콜 에테르계 화합물; 및물을 포함하되,상기 글리콜 에테르계 화합물이 하기 화학식 1로 표현되는 화합물과 하기 화학식 1a로 표현되는 화합물(화학식 1로 표현되는 화합물과 동일하지 않음)과의 배합인 것인 구리 에칭 조성물:[화학식 1](상기 식에서 R1은 탄소수 1~10의 알킬, 탄소수 1~10의 알케닐, 탄소수 6~10의 아릴 또는 탄소수 7~10의 아릴알킬이고, R2는 수소 또는 메틸이며, n은 1 내지 100의 정수이다.)[화학식 1a](상기 식에서 R1은 탄소수

제2 구리 이온;유기산 또는 무기산;소수성 피막 형성 물질로서 글리콜 에테르계 화합물; 및물을 포함하되,상기 글리콜 에테르계 화합물이 하기 화학식 1로 표현되는 화합물과 하기 화학식 1a로 표현되는 화합물(화학식 1로 표현되는 화합물과 동일하지 않음)과의 배합인 것인 구리 에칭 조성물:[화학식 1](상기 식에서 R1은 탄소수 1~10의 알킬, 탄소수 1~10의 알케닐, 탄소수 6~10의 아릴 또는 탄소수 7~10의 아릴알킬이고, R2는 수소 또는 메틸이며, n은 1 내지 100의 정수이다.)[화학식 1a](상기 식에서 R1은 탄소수 5~10의 알킬, 탄소수 5~10의 알케닐, 탄소수 6~10의 아릴 또는 탄소수 7~10의 아릴알킬이고, R2는 수소 또는 메틸이며, n은 1 내지 100의 정수이다.)