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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0012369 (2017-01-26) | |
등록번호 | 10-1764167-0000 (2017-07-27) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170012369 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-01-26) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 고수용성 고분자 수지 100중량부를 기준으로, 폴리우레탄, 비닐피롤리돈/메타아크릴아마이드/비닐이미다졸 공중합체, 비닐피롤리돈/비닐알코올 공중합체, 폴리(비닐아세테이트-CO-크로토닉산), 아미노에틸프로판디올-아크릴레이트 공중합체 또는 이들의 혼합물 5 내지 50중량부; 계면활성제 1 내지 10중량부; 가수분해 실란화합물 5 내지 30중량부; 수분산 폴리우레탄 분산제 10 내지 30중량부; 나노세라믹입자 3 내지 10중량부; 바인더 3 내지 10중량부; 및 용매 50 내지 150중량부를 포함하는 웨이퍼 보호용 코팅제 조성물을
수용성 고분자 수지 100중량부를 기준으로, 폴리우레탄, 비닐피롤리돈/메타아크릴아마이드/비닐이미다졸 공중합체, 비닐피롤리돈/비닐알코올 공중합체, 폴리(비닐아세테이트-CO-크로토닉산), 아미노에틸프로판디올-아크릴레이트 공중합체 또는 이들의 혼합물 5 내지 50중량부;계면활성제 1 내지 10중량부; 가수분해 실란화합물 5 내지 30중량부;수분산 폴리우레탄 분산제 10 내지 30중량부; 나노세라믹입자 3 내지 10중량부;바인더 3 내지 10중량부; 및용매 50 내지 150중량부를 포함하는 웨이퍼 보호용 코팅제 조성물.
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