초록 ▼

본 발명은 트리하이드록사이드(aluminum trihydroxide), 보에마이트(boehmite) 및 의보에마이트(pseudo-boehmite)로 구성된 군에서 선택된 원료와, 지르코니아(ZrO2) 또는 지르코니아 졸을 물 함유 용매에서 혼합, 건조 및 소성하여 제조한, 알루미나 및 지르코니아 혼합 촉매 지지체를 포함하되, 바람직하게는 알루미나 및 지르코니아 혼합 촉매 지지체에 활성금속으로 아연(Zn)이 담지된 것이 특징인 과불화 화합물 분해용 촉매를 제공한다. 본 발명에 따른 과불화 화합물 분해용 촉매는 내산성 촉매로서, 과불화

본 발명은 트리하이드록사이드(aluminum trihydroxide), 보에마이트(boehmite) 및 의보에마이트(pseudo-boehmite)로 구성된 군에서 선택된 원료와, 지르코니아(ZrO2) 또는 지르코니아 졸을 물 함유 용매에서 혼합, 건조 및 소성하여 제조한, 알루미나 및 지르코니아 혼합 촉매 지지체를 포함하되, 바람직하게는 알루미나 및 지르코니아 혼합 촉매 지지체에 활성금속으로 아연(Zn)이 담지된 것이 특징인 과불화 화합물 분해용 촉매를 제공한다. 본 발명에 따른 과불화 화합물 분해용 촉매는 내산성 촉매로서, 과불화 화합물에 포함된 할로겐족 산성가스 또는 과불화합물이 분해하여 생성된 불소에 대해 내구성을 가지며, 반응활성도 증진시킬 수 있다. 따라서, 반도체 제조공정 및 디스플레이 제조공정에서 사용되는 과불화 화합물의 세정제 및 에칭제를 분해하는 목적으로 사용이 가능하고, 특히 F2, Cl2, Br2 등과 같은 할로겐 산성가스를 사용하는 공정에서 배출되는 과불화 화합물을 분해하는 촉매로 유용하게 사용할 수 있다.

대표청구항 ▼

과불화 화합물 가수분해 반응 동안 촉매 활성이 유지되는 내구성이, 지르코니아가 없는 알루미나 촉매 겸 지지체 대비 향상되도록, (i) 알루미늄 트리하이드록사이드(aluminum trihydroxide), 보에마이트(boehmite) 및 의보에마이트(pseudo-boehmite)로 구성된 군에서 선택된 알루미나 전구체 원료와, (ii) 지르코니아(ZrO2) 또는 지르코니아 졸을 (iii) 물 함유 용매에서 혼합, 건조 및 소성하여 제조한, Al : Zr (질량) = 100 : 0.01 ~ 50인 알루미나 및 지르코니아 혼합 촉매 지지

과불화 화합물 가수분해 반응 동안 촉매 활성이 유지되는 내구성이, 지르코니아가 없는 알루미나 촉매 겸 지지체 대비 향상되도록, (i) 알루미늄 트리하이드록사이드(aluminum trihydroxide), 보에마이트(boehmite) 및 의보에마이트(pseudo-boehmite)로 구성된 군에서 선택된 알루미나 전구체 원료와, (ii) 지르코니아(ZrO2) 또는 지르코니아 졸을 (iii) 물 함유 용매에서 혼합, 건조 및 소성하여 제조한, Al : Zr (질량) = 100 : 0.01 ~ 50인 알루미나 및 지르코니아 혼합 촉매 지지체를 포함하는 과불화 화합물 가수분해용 촉매.