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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0033819 (2017-03-17) | |
공개번호 | 10-2018-0106145 (2018-10-01) | |
등록번호 | 10-1921481-0000 (2018-11-19) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170033819 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-03-17) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
마스크 스토커가 개시된다. 본 발명에 따른 마스크 스토커는, 제1 카세트와 제1 카세트의 상부에 적층된 제2 카세트를 구비하는 카세트모듈이 내부에 보관되는 보관 챔버와, 보관 챔버에 연결되며 카세트모듈을 제1축 방향으로 업/다운(up/down) 이동시키는 카세트 승강유닛고, 보관 챔버에 연결되고 제1 카세트를 지지하며 제1 카세트를 보관 챔버에 인입하고 보관 챔버에서 인출하기 위해 제1 카세트를 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이송하는 제1 카세트용 인입인출유닛과, 보관 챔버에 연결되고 제2 카세트에 선택적으로 연결되며 제2
제1 카세트와 상기 제1 카세트의 상부에 적층된 제2 카세트를 구비하는 카세트모듈이 내부에 보관되는 보관 챔버;상기 보관 챔버에 연결되며, 상기 카세트모듈을 제1축 방향으로 업/다운(up/down) 이동시키는 카세트 승강유닛;상기 보관 챔버에 연결되고 상기 제1 카세트를 지지하며, 상기 제1 카세트를 상기 보관 챔버에 인입하고 상기 보관 챔버에서 인출하기 위해 상기 제1 카세트를 제1축 방향에 교차하는 제2축 방향으로 이송하는 제1 카세트용 인입인출유닛; 및상기 보관 챔버에 연결되고 상기 제2 카세트에 선택적으로 연결되며, 상기 제
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