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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0040273 (2017-03-29) | |
공개번호 | 10-2018-0053212 (2018-05-21) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020160149855 (2016-11-10) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170040273 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
멤스 마이크로폰은 개구부로 정의된 내부 영역 및 상기 내부 영역을 둘러싸는 외부 영역을 포함하는 기판, 상기 외부 영역에 중첩하는 복수의 제1 홀들이 정의되며, 상기 기판의 두께 방향에서 상기 기판으로부터 이격된 감지 전극, 상기 두께 방향에서 상기 감지 전극 상에 이격되어 배치되고, 상기 복수의 제1 홀들에 중첩하는 복수의 제2 홀들 및 상기 내부 영역에 중첩하는 복수의 음향 홀들이 정의된 고정 전극, 상기 감지 전극 및 상기 고정 전극을 커버하며 상기 기판 상에 배치되고, 상기 복수의 음향 홀들에 중첩하는 복수의 홀들이 정의된
개구부로 정의된 내부 영역 및 상기 내부 영역을 둘러싸는 외부 영역을 포함하는 기판;상기 외부 영역에 중첩하는 복수의 제1 홀들이 정의되며, 상기 기판의 두께 방향에서 상기 기판으로부터 이격된 감지 전극;상기 두께 방향에서 상기 감지 전극 상에 이격되어 배치되고, 상기 복수의 제1 홀들에 중첩하는 복수의 제2 홀들 및 상기 내부 영역에 중첩하는 복수의 음향 홀들이 정의된 고정 전극; 및상기 감지 전극 및 상기 고정 전극을 커버하며 상기 기판 상에 배치되고, 상기 복수의 음향 홀들에 중첩하는 복수의 홀들이 정의된 백플레이트를 포함하고
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